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GC-9280 氦离子气相色谱仪分析高纯四氟化碳
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详细信息
氦离子气相色谱仪分析高纯四氟化碳
GC-9280型氦离子气相色谱仪分析高纯四氟化碳适用电子工业用气体中痕量杂质的检测，小检测浓度可达5ppb。仪器配备高灵敏的氦离子化检测器，采用中心切割技术，进样阀均带有吹扫保护气路；整机采用多柱箱设计，并配备进样压力自动校正系统。
检测项目：
项目 | 指 标 | ||
四氟化碳（CF4）纯度（体积分数）/10-2 ≥ | 99.999 | 99.995 | 99.99 |
氮（N2）含量（体积分数）/10-6 ＜ | 4 | 20 | 40 |
氧+氩（O2+Ar）含量（体积分数）/10-6 ＜ | 1 | 5 | 10 |
二氧化碳（CO2）含量（体积分数）/10-6 ＜ | 1 | 5 | 10 |
一氧化碳（CO）含量（体积分数）/10-6 ＜ | 0.1 | 0.5 | 1 |
六氟化硫（SF6）含量（体积分数）/10-6 ＜ | 1 | 1 | 5 |
水分（H2O）含量（体积分数）/含量，10-6 ＜ | 3 | 5 | 10 |
酸度（以HF计）含量含量（体积分数）/10-6 ＜ | 0.1 | 0.3 | 0.3 |
其它卤碳化合物a含量（体积分数）/10-6 ＜ | 1 | 10 | 30 |
总杂质含量(体积分数)/l0-6 ≤ | 10 | 50 | 10 |
颗粒 | 供需双方商定 | 供需双方商定 | 供需双方商定 |
其它卤碳化合物包括：六氟乙烷、八氟丙烷等。 | |||
产品的特点:
◆ 气体行业专业色谱技术成套解决方案
◆ 采用VICI公司Valco带吹扫型十通与六通切换阀控制气路
◆ 应用气体分离专用色谱柱分离预切再分离技术
◆ 采用可分离与嵌入式单体控温柱炉
◆ 工艺流程采用多路精密零死体专用阀控制多维色谱分离柱流量
◆ 分析流程全部采用Valco公司316不锈钢管路与专用镀金接头
◆ 核心灵敏部件采用Valco公司PDHID脉冲氦离子检测器
◆ 成套专业化的数字与全中文反控气相色谱仪
中心切割与反吹系统：
GC-9280PDD氦离子化气相色谱仪采用多阀多柱的中心切割与反吹系统，该系统由多个吹扫型十通阀及多根色谱联合组成，通过工作站设置的时间程序自动控制其进样、切换、切割与反吹等过程，完成包括高纯氮、高纯氢、高纯氧、高纯氦、高纯二氧化碳、高纯氩、氪气、氙气、氖气等高纯气体以及硅烷等电子工业用气体中痕量杂质的检测：
VALCO吹扫型十通阀：
GC-9280PDD氦离子化气相色谱仪所配备的均为VALCO生产的
经特殊加工的色谱柱技术
气体全分析流程：
HP-2氦气纯化器：
可纯化气体：He、Ar、Ne、Kr、Xe、Rn
最大操作压力：1000Psi
去除气体：H2、O2、N2、CO、CO2、CH4、H2O、NO、NH3、CF4等
残留浓度：≤10ppb
PDHID对部分杂质的检测限（ppb）
杂质种类
杂质种类 | H2 | O2 | N2 | CO | CH4 | CO2 | C2H4 | C2H6 | C2H2 | N2O | 苯 |
检测限 | 5 | 10 | 10 | 25 | 5 | 5 | 10 | 10 | 10 | 5 | 1 |
