Stage-Base 450 主动消振系统
- 型号
- Stage-Base 450
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自2013年以来，努美（北京）科技有限公司一直在研发和制造光源仪器，我们的光源被各领域的科研人员和专业工程师使用，为了解决更前沿的应用，使用者需要更为精确的光源，这正是我们的创造的动力和方向。
凭借光学、电子工程、机械工程团队，我们创造了国产更为真实的太阳光。这意味着您在使用太阳光模拟器过程中都能获得准确的结果。为了让仪器变得更简单高效，我们选择更好的材料和技术与研究人员不断变化的需求相结合。
产品主要涵盖：太阳光模拟器、大面积太阳光模拟、能流密度太阳能光热模拟、LED太阳光模拟器、阳光模拟、高速照明系统、氙灯光源、均匀光源、BRDF/BTDF透反射率测试系、定制太阳光模拟器等产品。
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详细信息
名称：主动消振系统Stage-Base
型号：Stage-Base 450
TMC继续在先进技术的基础上开发新的解决方案，以满足半导体工具对其隔振系统提出的挑战性要求。Stage-Base 450是专为带高精度电动X-Y平台的高级半导体工具而设计的主动消振系统。这些工具不但需要极其有效的消振性能，它们还要求由平台引起的有效载荷运动能够非常快速地稳定，以最大限度地提高工具吞吐量。通过增加带有前馈控制的VCM，可以缩短稳定时间，进一步提高吞吐量，从而为移动平台应用提供*先进的主动振动和运动消除系统。
Stage-Base 450优势
Stage-Base 450采用了下一代主动硬安装压电消振集成音圈技术。只有TMC可以提供这种*特的高级低频消振串行型技术，通过使用音圈电机（VCM），实现了主动移动平台运动消除。
Stage-Base 450下一代主动控制系统采用TMC的STACIS技术，使用压电致动器和串行式架构中的刚性悬架实现了*越的消振。这实现了始于0.6 Hz的业内*佳地面隔振，响应于平台力的初始偏转明显更小。
规格
●采用*特的STACIS®技术
●采用高力、加长行程的压电致动器
●有效载荷的位置可重复性在微米以内
●框架安装设计
●6个主动自由度
●可选的VCM前馈和/或反馈
●始于0.6 Hz的主动隔振
●响应平台运动的快速稳定时间
●无软空气悬架
●通过USB 2.0实现基于PC的图形用户界面（GUI）的高速数字控制器
●简单、坚固且经济高效
性能
应用照片
