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Free3D.ZTxTy.150 压电三轴并联位移台，三自由度，ZTT移动
- 型号
- Free3D.ZTxTy.150
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多场低温科技（北京）有限公司于2017年正式运营，在2021年团队整体迁入怀柔科学城产业园；并且公司在2020年获得高新技术企业资质，2023年获得北京市专精特新企业认证。
公司致力于全环境压电超精密运动控制技术以及产品的开发与推广。得益于公司在全环境领域（包括强磁场、超高真空和极低温环境）长期的探索与积累，多场科技已形成了全环境纳米运动控制产品集群，成为国际上为数不多的，可以提供全环境下的纳米级运动控制解决方案的团队。
在此基础上，多场科技积极推动技术延伸，迅速发展出高水平的全环境超精密压电运动控制以及综合物性表征手段，形成了模块化的全品类超精密运动控制以及涵盖力热声光电全方面的物性表征系列产品，并推出了融合多场技术的综合物性表征平台等整体化解决方案。公司产品已服务于国内外百余所高校及研究机构，并受到一致认可。
公司坚持自主创新、稳扎稳打、广泛开展合作、积极拓展业务范围，面向半导体、精密光学、精密仪器、工业自动化等领域，着力打造超精密运动领域一体化集成式解决方案，帮助客户更高效的推动技术发展，在国内工业升级、芯片自主化、航天国产化等大趋势下，为相关行业和领域突破“卡脖子”问题提供了强力的技术支撑。
详细信息
压电·三轴并联 Free3D.ZTxTy.150
➡ 3自由度并联设计，空间中ZTT移动
• 由纳米级驱动单元实现的三自由度并联结构，有效降低累积误差；
• 多轴姿态同时调节、结构稳定、刚性高；
• 平动行程：Z ±5 mm；
• 主体材料：铝合金；
• 角摆行程：ΘX, ΘY, ±3 °, ±3 °；
• 最大垂直负载：3 kg；
• 单向重复定位精度Z：±0.15 μm；
• 单向重复定位精度ΘX, ΘY：±2.5 μrad, ±2.5 μrad；
• 最小位移Z：25 nm；
• 最小位移ΘX, ΘY：7.5 μrad, 7.5 μrad；
• 速度：1 mm/s - 10 mm/s；
• 重量：1.5 kg；
• 可提供真空环境规格；
• 集成传感器：光学编码器；
• 位置传感分辨率：2 nm；
• 控制软件：提供PC端使用软件;
• 控制器通道：3通道输出控制;
• 控制方式：根据用户输入的位移指令，实现对位移台三轴空间姿态的运动调节；各驱动单元模块通过光栅位置反馈实现闭环控制；通过专用软件，实现对三轴并联运动的解算，分配到各驱动单元模块，实现三轴空间姿态的同时调节
压电三轴并联位移台，三自由度，ZTT移动——详细参数：
压电三轴并联位移台，三自由度，ZTT移动——尺寸图：
