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ei系列 Batch式高真空蒸发设备
- 型号
- ei系列
冷热台，快速退火炉，光刻机，纳米压印、磁控溅射，电子束蒸发
深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
详细信息
1. 产品概述
Batch式高真空蒸发设备ei系列是可对应在基板上成金属膜或氧化物膜的设备。可通过操作面板实现抽真空、成膜等作业内容的集中自动化操作，适用于研究开发及少量生产。
2. 设备用途/原理
Power Device等化合物相关。LED、LD、高速device。各种实验用。其他各种电子部件。
3. 设备特点
可搭载多样蒸发源（EB、电阻式、EB+电阻式）。对应不同制程可选多种基板holder（lift-off、行星式、卫星式等）。φ2 in〜 6 in基板、矩形基板、Si、化合物、glass、陶瓷灯各种基板对应。液晶触控板集中现实操作。集成电脑拥有优异的操作性和性能（recipe功能、data-logging、maintenance assistant功能）。
