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CCV系列 纵向式Cat-CVD设备
深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
纵向式Cat-CVD设备CCV系列CCV Series是a-Si镀膜用的纵向式CVD设备。有30年以上的量产实绩。在各个chamber通过低压镀膜,得到高品质的膜质。
产品特性 / Product characteristics
•经验和信赖性
30年以上的经验 量产设备的实际和信赖性•膜质好 低压成膜 各腔室隔离镀各层•低的运行成本 不使用NF3 •高产能 每个Carrier可搭载2片基板
产品应用 / Product application
· 异质结太阳能电池
产品参数 / Product parameters
关于公司
1、公司介绍深圳市矢量科学仪器有限公司成立于 2020年,由武汉大学团队孵化,致力泛半导体实验线、中试线、生产线装备及工艺和厂务技术服务于一体的国家高新技术企业、创新型中小企业、科技型中小企业。公司主要业务如下:装备销售:半导体道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试装备、半导体光电测试仪表。设备服务:驻场或者 oncall,装备维护、保养、售后技术支持。厂务服务:驻场或者 oncall,人力服务及厂务二次配工程。经历五年高速发展,2023 年营业额达 3.2 亿,连年复合增长率达 300%,现处于稳定扩张期。2、成长历程•2020年(公司成立年)•2300万订单额2021年 7000万订单额2022年 2.5亿订单额2023年3.2亿订单额