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UV400,UVR 400 GaN基外延片测温仪

型号
参数
价格区间:面议 应用领域:电子,交通,航天,汽车,电气
上海明策电子科技有限公司

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高速摄像机,红外测温仪,红外热像仪,黑体炉

上海明策电子科技有限公司定位于检测方案服务商。为国内大量有检测需求的用户提供一定的售前试用、免费测试,提供专业的测试解决方案、仪器设备,以及周到的售后服务。

公司座落于有东方明珠之称的大都市上海,总部办公室位于上海松江区漕河泾水木园经济开发区。还在多个城市设立了本地售后服务中心、维修中心。

明策致力于为医疗器械、先进材料生产过程、环保材料检测、计量校准、高速运动研究等行业提供专业的测试解决方案,引进先进的仪器设备。方案涉及红外测温、高清成像、材料研究、标定校准、系统集成。原理涉及光学近、中、远红外波段、可见光波段、太赫兹波段、激光波段等。

遵循服务至上的理念,为用户测试任务创新增值、提升用户体验度是明策全体人员的价值观,让更多的生产、工程、与试验人员使用我们的仪器与服务,成为行业内具备一定影响力的品牌,是公司长期的愿景。

我们具备专业的技术服务团队,高效的管理协作。公司采用先进的云数据系统,为客户、合作伙伴提供全面有效的专业服务。为售前、售中、售后规范化运作提供保障。

明策科技为客户不仅提供产品*,还提供本地测试服务、售前服务、售后安装调试服务、维修服务、校准服务等。明策科技提供的解决方案深入多个行业领域,获得用户高度认可。我们不仅提供仪器与方案,更有现场专业服务!

 

 

 

详细信息

UV400 GaN基外延片测温仪详细说明

UV 400的前身TR 2100是*采用集成反射计(2001年)的高温计,为使用光纤镜头和950 nm激光实时测量发射率建立了行业标准。蓝宝石光管传感器和实时的黑体校准源取得的研究进展提供了完整的温度测量解决方案。

UV 400和UVR 400系统是专门为GaN基MOCVD外延工艺开发的下一代温度传感器。这些传感器可以直接测量晶圆表面温度,而非传统的基座温度。UVR 400较UV 400 增加了一个635 nm,0.5 kHz测量速度的反射率测量仪,可测量沉积厚度.

这些系统正在为 LED 生产过程设定一个新的标准,其结果显示工艺温度和终产品波长之间存在可靠的相关性.这种直接测量的方法可以更精确地控制晶片温度,从而提高成品率

主要特点

  • 使用紫外波段直接测量GaN层温度;

  • 使用脉冲光源实时快速测量发射率;

  • 使用真正的光计数仪器将测量中的噪声降至低;

  • 防止由于延迟采样(无快门打开和关闭)而造成的数据偏差

  • 测温范围:650 至 1300℃

  • 重复精度 0.01 °C (see TN-828)


典型应用

  • GaN 基 MOCVD 外延工艺


技术指标

测量参数

温度范围:

650 至 1300°C

子温度区间:

温度范围内任意可调,小跨度 51°C

响应波长:

383 至 410 nm

探测器:

光电倍增管, 暗计数范围小于原始值的 1% @ 650°C

两次测量之间的等待时间:

少于 1 μs

分辨率:

软件显示0.1℃;
模拟输出不超过设定范围的 0.025%

发射率 ε:

0.100 至 1.000 调整步幅 0.001

透射率 τ:

0.100 至 1.000 调整步幅 0.001

积分时间;

少8ms

测量不确定度:
(ε = 1, t90 = 1 s, Thous. = 28°C)

小于 1000°C, 3°C;
大于 1000°C, 0.3%;

重复性:
(ε = 1, t90 = 1 s, Thous. = 28°C)
0.1% 或 0.1°C
电参数
功耗:大5W
负载(模拟输出):0 至 500 Ω
隔离:电源,模拟输出,数字接口彼此隔离
环境参数
防护等级:IP 40  IEC 60529
真空和气体:设备可承受氮气和真空(低于10 mbar),外壳有气孔
安装位置:任意
环境温度:10 至 38 °C
存储温度:-20 至 50 °C
相对湿度:非凝露
重量:2.5 kg
外壳:发黑氧化铝
CE 认证:根据欧盟有关电磁抗扰度的指令
接口

模拟输出:

0 到 20 mA 或 4 到 20 mA, 线性

数字输出:RS485可寻址(半双工)
波特率:1200 至 38400
大值存储:内置单存储器或双存储器
tclear 可调(off; 0.01 s; 0.05 s; 0.25 s; 1 s; 5 s; 25 s),
反射率测试(仅 UVR400)
测试范围:0 至 100%
速率:1000 Hz
光源:激光二极管
测量波长635 nm ±5 nm
测量不确定度:测量范围的 2%
重复精度:测量范围的 5%
晶圆片允许倾斜公差:0.3°
镜头工作距离 a:100mm
模拟输出:0到20 mA 或 4到20 mA ;可切换
负载:0 到 500 Ohm

UV400 GaN基外延片测温仪



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