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PZ-Mico D 纳米白光干涉仪 表面细微三维形貌测量
- 型号
- PZ-Mico D
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北京品智创思精密仪器有限公司(以下简称品智创思)，始终专注于精密影像测量领域的影像分析及测量软件的设计与研发。品智创思公司从事表面科学、分析仪器、计量检测设备及实验室仪器系统集成商;致力于为工业制造和科研领域用户提供显微分析，图像分析，缺陷识别和检验, 无损探查, 品质管理, 计量，过程控制等专业检测设备，依托强有力的技术资源及完善专业的售后服务与维修体系，向用户提供专业成熟细致的服务及全面地解决方案。
公司致力于提高工业产品的质量品质! 迄今为止，品智创思已为多家用户提供产品检测设备，用户遍布机械、电子、医疗、轨道交通、汽车、航空、航天、研究所、计量站、等行业，为用户提供的仪器和完善的解决方案，为用户工作提供强有力的技术支持。
品智创思秉承“专注质量、诚信服务、立足创新、真诚合作”的理念，为您提供、多角度的服务。
北京品智创思精密仪器有限公司愿与您精诚合作，共拓美好未来。
详细信息
纳米白光干涉仪 表面细微三维形貌测量系统基于白光干涉仪原理、结合Z向精密压电扫描模块和三维重建算法准确获 得各种精密器件和材料表面形貌数据，适用于反 射率0.05%-100%、超光滑至粗糙等多种表面测量求，能够实现纳米级精度测量、重构表面形 貌3D轮廓。
技术参数
型号：PZ-Mico D
测试技术： 3D相干扫描干涉法，抗震算法，移相干涉法
光源：固态白光光源，软件控制切换光谱（VSI和PSI）
扫描装置：精密压电陶瓷驱动，闭环反馈电容控制精密压电陶瓷
像素分辨率：1280X1024
视场： 10倍范围1200X950
纵向扫描范围：25mm
横向分辨率：0.05-2.68µm
轴向分辨率：VSI：0.5nmPSI：0.1nm
台阶高度精度（示值误差）±0.1nm（5µm标准台阶）
台阶高度重复性：0 . 1％1σ（5µm标准台阶
粗糙度 RMS 2
粗糙度RMS重复性:0.01nm
被测样品反射率：0.05%-100%
Z轴：电动Z平台100mm，1μm分辨率）
位移台：电控平台移动范围XY:100x100mm
产品细节
应用范围
