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S‑9220 扫描电子显微镜 (CD‑SEM)
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HITACHI S-9220扫描电子显微镜(SEM)
性能规格:
图像分辨率:3nm (30A) at 0.8kv 加速电压
加速电压范围:0.5kv 至 1.3kv
工作距离:固定
放大倍率范围:1 kx 至 300 kx
测量范围:0.1 至 2.0 u
重现性:3 nM
测量模式:全功能、多功能
吞吐量:45片/小时
SEM 图像:1kx 至 300kx,保证重现性 40kx ti 200kx
载物台位置控制:线性刻度反馈
系统配置:
目前配置为 200mm 晶圆尺寸
盒式接口(装载机单元):
Asyst 集成 SMIF
MECS 机器人/Cntrl
Leybold Turbo 带控制器
载物台和检查单元:X,Y 行程范围:0 – 200mm
控制单元
系统软件:
主机: : v12.41
SEM: 12.43
IPS: 12.40 (4500)
HV: 04.02
Stage: 01.07
Evac: 2.01
DSP: 11.10
WT: 4.05
支持选项:
缺陷检测
Mag Max X300k
SECE
自动 Vid
多点测量
保存到 Dos FD
边缘粗糙度
IP 读取
孔测量
SMIF
减少扫描
操作员访问
缺陷类型 KLA
图像增强
图像数据库
快速 AFC
MO 驱动器:640MB
热敏打印机
视频打印机
SECS/GEM 接口
真空隔离块和软管
动力装置
功率要求:208VAC,6kVA,1相,50A,频率60 Hz