$item.Name

首页>光学仪器及设备>电子显微镜>扫描电镜(SEM)

S‑9220 扫描电子显微镜 (CD‑SEM)

型号
S‑9220
参数
产地类别:进口 放大倍数:1 kx 至 300 kxx 加速电压:0.5kv 至 1.3kvkV 价格区间:700万-1500万 应用领域:电子,综合
深圳市达瑞博电子有限公司

高级会员1年 

经销商

该企业相似产品

临界尺寸扫描电子显微镜

在线询价

临界尺寸扫描电子显微镜

在线询价

临界尺寸扫描电子显微镜

在线询价

临界尺寸扫描电子显微镜 (CD SEM)

在线询价
手机综测仪、网络分析仪、频谱分析仪、信号发生器,示波仪,信号分析仪,程控电源,万用表,综合测试仪

深圳市达瑞博电子有限公司 经销批发的手机综测仪、网络分析仪、频谱分析仪、信号发生器、示波仪、信号分析仪、程控电源、万用表、综合测试仪消费者市场,在消费者当中享有较高的地位,公司与多家零售商和代理商建立了*稳定的合作关系。深圳市达瑞博电子有限公司经销的手机综测仪、网络分析仪、频谱分析仪、信号发生器、示波仪、信号分析仪、程控电源、万用表、综合测试仪品种齐全、价格合理。深圳市达瑞博电子有限公司实力雄厚,重信用、守合同、保证产品质量,以多品种经营特色和薄利多销的原则,赢得了广大客户的信任。

详细信息

HITACHI S-9220扫描电子显微镜(SEM)

性能规格:

图像分辨率:3nm (30A) at 0.8kv 加速电压
加速电压范围:0.5kv 至 1.3kv
工作距离:固定
放大倍率范围:1 kx 至 300 kx
测量范围:0.1 至 2.0 u
重现性:3 nM
测量模式:全功能、多功能
吞吐量:45片/小时
SEM 图像:1kx 至 300kx,保证重现性 40kx ti 200kx
载物台位置控制:线性刻度反馈

系统配置:

目前配置为 200mm 晶圆尺寸
盒式接口(装载机单元):
Asyst 集成 SMIF
MECS 机器人/Cntrl
Leybold Turbo 带控制器

载物台和检查单元:X,Y 行程范围:0 – 200mm

控制单元

系统软件:

主机: : v12.41
SEM: 12.43
IPS: 12.40 (4500)
HV: 04.02
Stage: 01.07
Evac: 2.01
DSP: 11.10
WT: 4.05

支持选项:

缺陷检测
Mag Max X300k
SECE
自动 Vid
多点测量
保存到 Dos FD
边缘粗糙度
IP 读取
孔测量
SMIF
减少扫描
操作员访问
缺陷类型 KLA
图像增强
图像数据库
快速 AFC

MO 驱动器:640MB
热敏打印机
视频打印机
SECS/GEM 接口

真空隔离块和软管

动力装置
功率要求:208VAC,6kVA,1相,50A,频率60 Hz


相关技术文章

同类产品推荐

相关分类导航

产品参数

产地类别 进口
放大倍数 1 kx 至 300 kxx
加速电压 0.5kv 至 1.3kvkV
价格区间 700万-1500万
应用领域 电子,综合
企业未开通此功能
详询客服 : 0571-87858618
提示

请选择您要拨打的电话:

当前客户在线交流已关闭
请电话联系他 :