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RTD Wafer 晶圆有线测温系统

型号
RTD Wafer
参数
产地类别:国产 应用领域:生物产业,石油,电子,电气,综合
上海睿丹自动化仪表有限公司

中级会员5年 

生产厂家

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详细信息

RTD Wafer 晶圆有线测温系统

仪表化晶圆(热电偶或RTD)适用于半导体加工设备,在这些设备中,了解和控制晶圆表面的温度至关重要。

RTD Wafer 晶圆有线测温系统

测温范围:-40℃至250℃

电阻器:薄膜铂

电阻:0°C时标称电阻值为1000 Q

精度:±0.1℃

测温点数:1~68个

传感器引线:可定制

可提供绝缘:聚酰亚胺涂覆的铜引线

测温探头接口:DB37

晶圆材质:硅片,蓝宝石,碳化硅等(基材形状和尺寸可定制)

晶圆尺寸:50mm,100mm,150mm,200mm,300mm

真空贯通带:聚酰亚胺扁平电缆,大气压可达10-7Torr(长度由客户定)


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产品参数

产地类别 国产
应用领域 生物产业,石油,电子,电气,综合
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