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60*60 电动旋转台
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生产厂家艾博纳微纳米科技(江苏)有限公司致力于科研器材的研发与生产,以国际科研单位力量为支点,凝聚社会力量共同谋求推动全“人类科学发展与进步”。艾博纳微纳米科技(江苏)有限公司创立于中国江苏,用户群体分布于世界各国以及国内大陆大部分地区。公司主营业务有物理科研器材、二维材料转移装置、二维材料微纳加工设备、微纳米光学系统包括远场以及近场全波段光学显微系统研发、国产原子力显微镜、耗材(包含氮化硼国产高质量生长等各种晶体、硅片、超干净蓝膜胶带等)、其他二维材料制备相关设备如等离子处理仪、显像设备等。所有经由我司售卖的产品均享受售后保障,用户可放心购买。
产品名称
电动旋转台60x60
信息
适用于硅片的打标等的微小角度调整用自动平台。
最大速度60°/sec
平台台面材料铝合金
传感器型号微型光电传感器:GP1S097HCZ(夏普(株))
台面尺寸φ60mm
传动副间隙0.05°
分辨率(半步)≒0.0027°/脉冲
分辨率(整步)≒0.0053°/脉冲
扭矩刚度1″/N・cm
极限位置传感器有(常闭)
空行程0.003°
定位精度0.05°
导轨形式滚动轴承
驱动机构滚珠丝杠+钢带
转动范围±5°
近接原点传感器无
重复定位精度0.003°
原点传感器有(常开)
最小位移量 (参考数据)0.5mdeg
自重0.5kg
承载能力29.4N(3.0kgf)
同心度10μm
表面处理黑色氧化
平行度50μm
台面跳动量0.01mm
传感器 信号的含义遮光时:输出晶体管OFF(截止):极限位置传感器
遮光时:输出晶体管ON(导通):原点传感器
传感器 消耗电流60mA以下(单个传感器20mA以下)
传感器 输出端电气特性NPN集电极开路输出 DC30V以下50mA以下
传感器 电源电压DC5~24V±10%
电机 步距角0.72°
电机 类型5相步进电机 0.75A/相(多摩川精机(株))
电机 型号TS3664N4E10(□24mm)
控制器GSC-01、GIP-101、GSC-02、SHOT-702、SHOT-302GS、SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S、PGC-04-U、HSC-103
驱动器SG-5M、SG-5MA、MC-S0514ZU、SG-514MSC、MC-7514PCL