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Lancer离子束蚀刻系统
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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
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Veeco 离子束蚀刻的优势
离子束蚀刻是一种成熟的技术，可用于在大批量生产环境中制造先进的薄膜器件。然而，研发和中试线生产环境都在不断创新下一代MEMS、磁传感器和数据存储设备，这些设备也依赖于具有行业最佳性能规格的高性能蚀刻系统。Veeco 目前在全球安装了 300 多个离子束蚀刻系统，支持薄膜器件应用。
新型 Lancer IBE 系统
新型 Lancer™ 离子束蚀刻 （IBE） 系统专为开发和生产智能手机、自动驾驶汽车和其他可实现连接性、功能性和移动性的“物联网”设备中的下一代电子设备而设计。
Lancer系统提供了在研发和生产环境中可以达到的设备质量，包括：
的系统性能和功能
与前几代 IBE 相比，单模块配置减少了占用空间
经过生产验证的技术，目前拥有庞大的安装基础
拥有专用流程和技术专业知识的大型应用数据库
Veeco 销售和服务支持基础设施确保客户满意度
