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UX 4486SC 池田屋现货USHIO牛尾 UX-4486SC 投影曝光装置
- 型号
- UX 4486SC
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池田屋实业(深圳)有限公司成立于2015年，位于广东省深圳市，是一家从事中日贸易的企业。
公司经过多年的发展，已整合多方海外厂商渠道，有稳定的合作关系，为企业提供售卖、维修、售后等一系列节能降本的服务。池田屋主要经营日本科学仪器设备、实验室仪器、各类检测仪器、测量仪器、食品设备、光学设备、精密传感器等各类工业流通产品。
公司拥有专业的销售团队、技术团队、管理团队，通过全体员工的不懈努力，凭借在工业品领域的专业水平和成熟技术，服务于电子消费类、半导体，液晶光电，汽车业、造船业、地铁、等专业用户里的世界500强企业。
详细信息
池田屋现货USHIO牛尾 UX-4486SC 投影曝光装置
池田屋现货USHIO牛尾 UX-4486SC 投影曝光装置
USHIO 一直提供专门用于服务器、个人电脑、智能手机和平板电脑等移动设备中使用的封装应用的步进机。这是一款封装基板用步进机，采用了Ushio多年来积累的光源和光学技术以及我们 的大面积投影透镜技术，并使用了与面板尺寸相对应的平台。它实现了高生产率，同时实现了封装基板所需的高分辨率和覆盖精度。
[元件技术]
配备全球占有率第一的超高压UV灯
具有高均匀性的 照射光学系统
的大面积投影镜头
响应基板特定畸变的对准技术
的TTL非曝光波长/对准方法
Ushio的技术“TTL非曝光波长对准”在观察掩模标记时无需暴露基板上的对准标记。此外，由于可以直接观察工件标记，因此不会因掩模而降低对比度，并且可以与清晰的标记进行高精度对准。
兼容多种对准标记
由于支持对已登记图案的图案匹配，因此无需专用对准标记，即可与各种布线图案进行对准。
高分辨率能力
配备Ushio投影镜头“UPL系列”以实现高分辨率。支持全面量产，设计规则线距=5μm。
深景深
由于焦点深度较深（±50 至 100 μm），因此即使由于基板的台阶、翘曲或波纹而导致焦点偏离，也可以获得与正确对焦时相同的图案轮廓。当曝光较厚的干膜、阻焊剂等时尤其有效。
使用表面平台进行高速步进和重复
通过使用精密空气轴承消除摩擦，并通过平面电机结构使运动部件更轻、更坚固，实现了高速步进重复操作。此外，表面平台使用激光干涉仪进行反馈控制，实现高速运行和高定位精度。
面罩无损伤
UX-4系列阵容
| 模型 | UX-4486SC | UX-44101SC | UX-4423SC | UX-4459SC | UX-4440SC | UX-4438SC | UX-4458SC | UX-4477SC |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 面罩尺寸 | □5英寸 | □7英寸、□5英寸 | □9英寸、□7英寸 | |||||
| 晶圆尺寸 | φ4英寸 | φ6英寸、φ4英寸 | φ8英寸、φ6英寸 | |||||
| 解决 | 7μm长/秒 | 2μm长/秒 | 9μm长/秒 | 6μm长/秒 | 5μm长/秒 | 12μm长/秒 | 6μm长/秒 | 4μm长/秒 |
| 总体叠加精度 | ±1.0μm L/S | ±1.0μm L/S | ±1.0μm L/S | ±1.0μm L/S | ±2.0μm L/S | ±1.0μ;m L/S | ±1.0μm L/S | ±1.0μm L/S |
| 曝光波长 | 洲际线 | 我行 | 洲际线 | 我行 | 我行 | 洲际线 | 我行 | 我行 |
| 吞吐量 | 120W/小时 | |||||||
| 选项 | 背面对准、IR对准、掩模库、特殊晶圆支撑 | |||||||
