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UFX 2123 全新USHIO牛尾 UFX-2123 卷对卷投影曝光装置

型号
UFX 2123
参数
产地类别:进口 应用领域:化工,建材,电子,电气,综合 订货号:176.0755.4908.
池田屋实业(深圳)有限公司

中级会员2年 

经销商

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日本科学仪器设备、实验室仪器、各类检测仪器、测量仪器、食品设备、光学设备、精密传感器等各类工业流通产品。

池田屋实业(深圳)有限公司成立于2015年,位于广东省深圳市,是一家从事中日贸易的企业。


公司经过多年的发展,已整合多方海外厂商渠道,有稳定的合作关系,为企业提供售卖、维修、售后等一系列节能降本的服务。池田屋主要经营日本科学仪器设备、实验室仪器、各类检测仪器、测量仪器、食品设备、光学设备、精密传感器等各类工业流通产品。


公司拥有专业的销售团队、技术团队、管理团队,通过全体员工的不懈努力,凭借在工业品领域的专业水平和成熟技术,服务于电子消费类、半导体,液晶光电,汽车业、造船业、地铁、等专业用户里的世界500强企业。











详细信息

全新USHIO牛尾 UFX-2123 卷对卷投影曝光装置

全新USHIO牛尾 UFX-2123 卷对卷投影曝光装置

USHIO 一直提供专门用于服务器、个人电脑、智能手机和平板电脑等移动设备中使用的封装应用的步进机。这是一款封装基板用步进机,采用了Ushio多年来积累的光源和光学技术以及我们 的大面积投影透镜技术,并使用了与面板尺寸相对应的平台。它实现了高生产率,同时实现了封装基板所需的高分辨率和覆盖精度。

[元件技术]

配备全球占有率第一的超高压UV灯

具有高均匀性的 照射光学系统

的大面积投影镜头

响应基板特定畸变的对准技术

的TTL非曝光波长/对准方法

Ushio的技术“TTL非曝光波长对准”在观察掩模标记时无需暴露基板上的对准标记。此外,由于可以直接观察工件标记,因此不会因掩模而降低对比度,并且可以与清晰的标记进行高精度对准。

兼容多种对准标记

由于支持对已登记图案的图案匹配,因此无需专用对准标记,即可与各种布线图案进行对准。

高分辨率能力

配备Ushio投影镜头“UPL系列”以实现高分辨率。支持全面量产,设计规则线距=5μm。

深景深

由于焦点深度较深(±50 至 100 μm),因此即使由于基板的台阶、翘曲或波纹而导致焦点偏离,也可以获得与正确对焦时相同的图案轮廓。当曝光较厚的干膜、阻焊剂等时尤其有效。

使用表面平台进行高速步进和重复

通过使用精密空气轴承消除摩擦,并通过平面电机结构使运动部件更轻、更坚固,实现了高速步进重复操作。此外,表面平台使用激光干涉仪进行反馈控制,实现高速运行和高定位精度。

面罩无损伤

 

UFX系列阵容

模型UFX-2123UFX-2477UFX-2894

曝光面积□100毫米□140毫米□250mm
胶带宽度~105毫米156/158毫米250毫米
解决9μm长/秒4μm长/秒5μm长/秒

曝光波长洲际线我行我行


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产品参数

产地类别 进口
应用领域 化工,建材,电子,电气,综合
订货号 176.0755.4908.
企业未开通此功能
详询客服 : 0571-87858618
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