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EC-5202 总经销HORIBA堀场 高分辨率性能排气压力控制器
中级会员第2年
经销商池田屋实业(深圳)有限公司成立于2015年,位于广东省深圳市,是一家从事中日贸易的企业。
公司经过多年的发展,已整合多方海外厂商渠道,有稳定的合作关系,为企业提供售卖、维修、售后等一系列节能降本的服务。池田屋主要经营日本科学仪器设备、实验室仪器、各类检测仪器、测量仪器、食品设备、光学设备、精密传感器等各类工业流通产品。
公司拥有专业的销售团队、技术团队、管理团队,通过全体员工的不懈努力,凭借在工业品领域的专业水平和成熟技术,服务于电子消费类、半导体,液晶光电,汽车业、造船业、地铁、等专业用户里的世界500强企业。
总经销HORIBA堀场 高分辨率性能排气压力控制器
总经销HORIBA堀场 高分辨率性能排气压力控制器
对氦气和氩气等导热气体进行稳定且高精度的压力控制,这对于控制晶圆背面的温度至关重要。配备高速、高分辨率压电阀和质量流量传感器,不仅可以精确稳定地进行微小压力控制,还可以进行流量测量。
业务部门:半导体
产品类别:流体控制
制造商:HORIBA STEC, Co., Ltd. 通过使用经过验证的电容式压力传感器,可以在低压下进行精确的压力控制。
压力控制期间高精度监控气体流量。
对氦气和氩气等导热气体进行稳定且高精度的压力控制,这对于控制晶圆背面的温度至关重要。配备高速、高分辨率压电阀和质量流量传感器,不仅可以精确稳定地进行微压差控制,还可以进行流量测量。
业务部门:半导体
产品类别:流体控制
制造商:HORIBA STEC, Co., Ltd.
供货精准稳定
配备质量
流量传感器配备质量流量控制器中广泛使用的质量流量传感器,可以以与原料气体供应过程相同的精度监控实际流量。
与质量流量控制器相同的尺寸
与质量流量控制器相同的尺寸和配件兼容,因此可以进行类似的设计和构造。
符合RoHS指令
这是一款配备数字控制电路的自动压力调节器,该电路使用高精度压力传感器和高分辨率、高速响应压电阀。
采用全金属结构(气体接触部分)和无死体积结构,可对腐蚀性气体和低蒸气压气体进行稳定的压力控制。它可以使用外部信号进行远程控制,非常适合安装在需要全面气体控制的系统中,例如需要全面性能评估的气体传感器和耐压评估系统。
互动规模 | 西北40 |
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气体接触材料 | SUS-316L、Viton® |
电导 (真空区域) | 0.4~80升/秒 |
流出量100mmH2O (全闭) | 20升/分钟 |
互动规模 | 西北50 |
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气体接触材料 | SUS-316L、Viton® |
电导 (真空区域) | 0.6~200升/秒 |
流出量100mmH2O (全闭) | 25升/分钟 |
互动规模 | 25mm Teflon® 接头 1 英寸 Teflon® 接头 |
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气体接触材料 | PTFE、PEEK、Viton® |
电导 (真空区域) | 0.4~80升/秒 |
流出量100mmH2O (全闭) | 3升/分钟 |
产地类别 | 进口 |
价格区间 | 1万-5万 |
试验力加载速率 | 见资料 |
压板间距 | 见资料mm |
应用领域 | 建材,电子,交通,电气,综合 |
最大试验力 | 见目录KN |
订货号 | 176.0755.4908. |