一、市场背景

【光伏电池行业】三氯氢硅（TCS）又称三氯硅烷、硅氯仿，是卤硅烷系列化合物中最重要的一种产品，沸点为31.8℃、极易水解、冒白烟、有盐酸气味、有毒，三氯氢硅气体与氧气或空气的混合物极易燃烧，遇湿易燃物品，遇明火强烈燃烧，与氧化剂发生反应，有燃烧危险。极易挥发，在空气中发烟，遇水或水蒸气能产生热和有毒的腐蚀性烟雾。

电子级TCS：电子级TCS是纯度高的三氯氢硅，通常用于制造高效率的光伏电池。它的杂质含量非常低，可以提供良好的电子传输性能；太阳级TCS：太阳级TCS也是用于制造光伏电池的材料，但其纯度要低于电子级TCS。太阳级TCS可以通过化学气相沉积（CVD）等工艺生产，用于大规模制造光伏电池；工业级TCS：工业级TCS是用于其他工业应用的TCS，不一定具备高纯度要求。工业级TCS通常用于制造硅橡胶、硅密封材料等。

二、市场现状

样品氮封后放进自动液体进样器样品盘上，进样针在抽取样品时由于针内含有空气，进样针内的样品易发生自燃，破坏样品，分析结果不准确。

三、解决方案：

产品名称：色谱气体保护仪

产品型号： P-5

惰性气体：小分子量惰性气体，优选氦气

四、原理：

1、设计一个样品空气隔离罩将自动液体进样器笼罩于其内，开口在底部，从上端往隔离罩内连续输入氦气，置换掉隔离罩内的空气，氦气密度小，氦气优先充满顶部空间，可以驱赶空气从底部排出，隔离罩内充满氦气，样品和进样针内外周围环境中的氧气浓度低于安全值后，确保了样品不会自燃；

2、氦气经过流量控制系统进入隔离罩内，先选择充气通道，氦气大流量进入隔离罩内，当空气全部被置换掉后，再切换到补气通道，维持小流量氦气，流量可调；

3、隔离罩底部样品位置安装高精度测氧仪，实时监控隔离罩内的氧气浓度，低于安全值时再进样；

4、流量控制器中氦气开关阀可以通过色谱软件控制，运行完样品，自动关闭氦气，节省氦气。

五、方案优势：

1、双通道自由切换，充气通道，流量大，置换快，1min即可完成置换，补气通道，流量小，节省气；

2、通过色谱仪控制氦气气源的电磁阀开关，进完样品可以自动关闭，运行下一个样品前自动打开氦气，节省氦气；

3、看得见的氧气，氧气浓度可以实时显示，低于安全值时再进样，确保不会自燃；

4、配备高精密度测氧仪，带存储卡，历史数据可以追踪；

5、采用扁平化设计，桌面占用少。

扩展：该方案同样适用于 双（二乙基氨基）硅烷(BDEAS) 的色谱分析