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Pishow® D 系列 8英寸电感耦合等离子体-深硅刻蚀设备
- 型号
- Pishow® D 系列
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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
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详细信息
8英寸电感耦合等离子体-深硅刻蚀（ICP-DSE）设备
1. 详细介绍
Pishow® D 系列深刻蚀设备，是针对8英寸~6英寸产线或科研深硅刻蚀工艺的用设备，拥有自主开发的优化设计，保证了优异的刻蚀精度控制和损伤控制。
提供Si Bosch工艺的解决方案。
该设备高性价比的解决方案和优秀的空间利用率，可帮助不同客户实现产能升。
2. 系统特性
Pishow® D 系列是采用深硅刻蚀技术的电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备
提供Bosch解决方案，实现对Si的高深宽比刻蚀
优化的气柜设计，缩短进气距离，短工艺切换时间小于1.0
Pishow® D 系列可选择8~4英寸晶圆，提供单腔式和多腔式等多种腔室搭配方式
