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ES622-50 ES622系列TLP脉冲IV曲线系统
- 型号
- ES622-50
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EMC电磁兼容和可靠性分析仪器、仪表、设备综合服务供应商，
芯片级、板级、系统级ESD静电抗扰和EMI电磁干扰测试方案定制商，
行业涉及手机通信消费电子、汽车电子、显示行业、PCB板模组行业、芯片半导体行业，高校科研院所实验室，可为客户提供定制解决方案。
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详细信息
ES622系列TLP脉冲IV曲线系统
（含 HMM、HBM、MM 外部模块）
1.描述
ES622 系列 TLP 脉冲 IV 曲线系统是一种先进的 IV 曲线表征系统，旨在高功率时域中模拟 ESD 事件（TLP/VF-TLP/HMM/HBM/MM 脉冲）及监控设备（半导体、分立器件、电路模块等）。ES622相比之前的ES620，规格更高，功能更多，扩展能力更强，软件体验更佳。
传输线脉冲(TLP)测试功能旨在满足最新的 ANSI/ESD STM5.5.1 测试标准，并将高质量矩形脉冲应用于被测器件并记录器件两端的电压和电流。可绘出脉冲 IV 曲线，允许用户在纳秒级时间窗口内表征器件的瞬态响应。设备集成了先进的自动器件故障检测方法，例如：直流抽检（V 或 I）、静态 IV 曲线、熔断、击穿和偏置源波动。
VF-TLP 测试旨在模拟 CDM 速度 ESD 事件，并在高速（例如<100 ps 上升时间）ESD 瞬态下捕获 DUT 两端的电压和通过 DUT 的电流。这允许用户研究器件的响应速度和峰值钳位电压。
人体金属模型(HMM)测试功能是 IEC61000-4-2 系统级 ESD 的替代测试方法。它为低欧姆设备提供了理想标准波形的等效波形，并消除了组件或晶圆级测试的许多 IEC 枪测试问题，例如可重复性、枪尖不精确、阻抗不匹配、来自非屏蔽继电器的 EMI 干扰以及具有大接地平面和耦合平面的特殊装置等。
2.特点
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可灵活配置的 TLP 脉冲 IV 曲线系统
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超紧凑的设计系统
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具有多线程处理能力的超快测试速度
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提供 20 A、40A、50 A、100 A、125A、150 A 型号（可定制）
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可用软件提供高级系统和附件监控和控制
（开关寿命监视器、E-Cal 模块、示波器衰减调整） -
测试功能可通过 VF-TLP、HMM、HBM、MM 选项进行扩展
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多种故障自动检测方式
（直流抽检（V 或 I）或 IV 扫描、熔断、击穿和偏置电流变化） -
软件控制脉冲：突发、连续、IV 曲线表征
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上升时间选项从 40 ps 到 1200 ns（取决于型号，可定制）
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脉冲宽度选项从 1 ns 到 2000 ns（取决于型号，可定制）
注意*：EOS 系列支持更长的脉冲应用，脉冲宽度从几百 ns 到几 ms。
3.应用
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ESD 性能表征
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晶圆/封装级ESD测试
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系统/电路模块ESD测试
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安全操作区（SOA）测试
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充电恢复时间测试
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太阳能电池板二极管特性
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触摸屏 ITO 微带线熔断和击穿测试
相关标准：
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TLP / VF-TLP 选项符合 ANSI/ESD STM 5.5.1标准
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HMM 选项符合 ANSI/ESD SP5.6标准
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HBM 选项符合 ANSI/ESDA/JEDEC JS-001标准
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MM 选项符合 ANSI/ESDA SP5.2标准
4.规格
ES622系列TLP单元规格表
| 参数 | ES622-20 | ES622-50 | ES622-100 | ES622-125 | ES622-150 | 单位 | *可根据要求提供特殊型号，例如 40、100、200+ A |
| 开路输出电压 | ± 0.5 ~ 1000 | ± 0.5 ~ 2500 | ± 0.5 ~ 5000 | ± 0.5 ~ 6250 | ± 0.5 ~ 7500 | V | |
| 开路最小电压步长 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | V | |
| 短路输出电流 | ± 0.01 ~ 20 | ± 0.01 ~ 50 | ± 0.01 ~ 100 | ± 0.01 ~ 125 | ± 0.01 ~ 150 | A | |
| 电压精度 | 精度可在 1 – 10 % 之间调节 | % | 速度/精度软件可调 | ||||
| 最快上升时间* （默认 20-80%） | ≤ 50 | ≤ 200 | ≤ 300 | ≤ 300 | ≤ 300 | ps | 特殊配置可提供10-90%最快至40 ps 的上升时间 |
| 上升时间范围 | 0.05 ~ 1200 | 0.2 ~ 1200 | 0.3 ~
1200 | 0.3 ~
1200 | 0.3 ~
1200 | ns | |
| 上升时间选项 | 无限的可编程或手动选项 | 可定制 | |||||
| 脉宽 （默认 50-50%） | 100 ± 1 | ns | 默认 | ||||
| 最小脉宽 | 0.5 | 1 | 5 | 5 | 5 | ns | |
| 最大脉宽 | 2000 | 2000 | 1500 | 1500 | 1000 | ns | |
| 脉宽选项 | 无限的可编程或手动选项 | 可定制 | |||||
| 测试速度 | 通常 0.2 ~ 2 | s | 因硬件设置而异 | ||||
| 尺寸 | 347 W X 300 D X 145 H | mm | 可能因定制而改变 | ||||
| 重量 | 8 | 8 | 8 | 10 | 12 | kg | |
| 支持的示波器 | Tektronix, Agilent, LeCroy, Rigol的主要系列 | 其他可根据要求支持 | |||||
| 支持 的SMU | Keithley 24xx/26xx 系列 SMU | 其他可根据要求支持 | |||||
ES62X-HMM2 外置人体金属模型模块
（短路DUT，符合ANSI / ESD SP5.6 的 100 Ω HMM）
| 参数 | ES620-25 | ES620-50 | ES622-100 | ES620-125 | ES620-150 | 单位 | 备注 |
| IEC等效等级 | 6 | 12 | 24 | 30 | 36 | kV | |
| HMM 峰值电流 | 22.5 | 45 | 90 | 112.5 | 135 | A | 3.75 A 每 1 kV ≤ ± 10 %
IEC 61000-4-2 (R=330Ω, C=150pF) |
| HMM 电流 @ 30 ns | 12 | 24 | 48 | 60 | 72 | A | ≤ ± 10 % (优于±30% IEC) |
| HMM 电流 @ 60 ns | 6 | 12 | 24 | 30 | 36 | A | ≤ ± 10 % (优于±30% IEC) |
ES62X-HBM2 外置人体模型模块
(ANSI/ESDA/JEDEC JS-001 R=1.5 kΩ, C=100 pF)
| 参数 | ES620-25 | ES620-50 | ES622-100 | ES620-125 | ES620-150 | 单位 | 备注 |
| 最大 HBM 测试等级 | ± 2 | ± 4 | ± 8 | ± 10 | ± 12 | kV | |
| 最小HBM 测试等级 | ± 50 | V | |||||
| 最小测试步长 | 1 | V | 通过USB，用PCB 控制 | ||||
| 电荷泄放电阻 | 10 K | Ohm | |||||
| 电压输出灵敏度 | 1/201 | V/V | 注入50 Ohm时误差小于± 3% | ||||
| 电流传感器灵敏度 | 1 | V/A | 注入50 Ohm时误差小于± 3% | ||||
| 测试速度 | >= 1 | S | 根据标准，最大 1P/s | ||||
| 物理尺寸 | 90 X 90 X 130 | mm | |||||
5.订购信息
| 编号 | 部件型号 | 描述 |
| TLP IV曲线系统基础配置 | ||
| 1.1 | ES622-20 | ES622 TLP 脉冲 IV曲线系统，20 A 基础单元 |
| 1.2 | ES622-25 | ES622 TLP 脉冲 IV曲线系统，25 A 基础单元 |
| 1.3 | ES622-40 | ES622 TLP 脉冲 IV曲线系统，40 A 基础单元 |
| 1.4 | ES622-50 | ES622 TLP 脉冲 IV曲线系统，50 A 基础单元 |
| 1.5 | ES622-100 | ES622 TLP 脉冲 IV曲线系统，100 A 基础单元 |
| 1.6 | ES622-125 | ES622 TLP 脉冲 IV曲线系统，125 A 基础单元 |
| 1.7 | ES622-150 | ES622 TLP 脉冲 IV曲线系统，150 A 基础单元 |
| 上升时间选项 (仅作为案例配置展示，可供定制) | ||
| 2.1 | ES62x-PRT4 | 可编程的4个脉冲上升时间过滤器模块 (默认: 内置1 ns、5 ns、10 ns，可定制) |
| 2.2 | ES62x-PRT10 | 可编程的10个脉冲上升时间过滤器模块 (默认: 内置0.5ns、1 ns、2ns、5 ns、10 ns、20ns，可定制) |
| 2.3 | ES62x-ERTF | 手动外部上升时间过滤器 |
| 脉宽选项(仅作为案例配置展示，可供定制) | ||
| 3.1 | ES620-PPL4 | 可编程的4个内置脉宽模块 |
| 3.2 | ES620-PPL10 | 可编程的10个内置脉宽模块 |
| 3.3 | ES620-MPLEx | 手动脉宽外部变动选项
|
| 外置脉冲模块选项 | ||
| 4.1 | ES62X-HBM2 | 人体模型 (HBM) ESD脉冲模块及测试设置选项
(ANSI/ESDA/JEDEC JS-001脉冲测试及IV测量) |
| 4.2 | ES62X-HMM2 | 人体金属模型(HMM) ESD脉冲模块及测试设置选项
(IEC61000-4-2 脉冲测试及IV测量) |
| 4.3 | ES62X-MM2 | 机器模型(MM) ESD脉冲模块及测试设置选项
(ANSI/ESDA SP5.2 脉冲测试及IV测量) |
| 漏电或直流IV测量选项 | ||
| 5.1 | ES62X-SSM | 系统开关模块(在脉冲及直流测试间切换) |
| 5.2 | ES62X-STP1 | SMU 瞬态保护器 |
| 直流偏置测量选项 | ||
| 6.1 | BT-100V2A6G | TLP测试偏置三通, 10 kHz – 6 GHz, 100V, 2 A DC/10 A 脉冲电流 |
| 6.2 | BT-100V4A3G | TLP测试偏置三通, 10 kHz – 3 GHz, 100V, 4 A DC/20 A 脉冲电流 |
| 6.3 | BT-450V2A5G | TLP测试偏置三通, 10 kHz – 5 GHz, 450V, 2 A DC/10 A 脉冲电流 |
| ESD 注入及IV曲线测量选项 | ||
| 7.1 | ES62X-PSTT | 用于封装级标准TLP测试的TDR-O测试装置 |
| 7.2 | ES62X-PVFTT | 用于封装级VF-TLP测试的TDR-S测试装置 |
| 7.3 | ES62X-CMPS | 简易式手动探针台，配有可灵活移动的真空泵和显微镜 |
| 7.4 | ES62X-WSTT | 用于晶圆级标准TLP测试的TDR-O测试装置，含探针座 |
| 7.5 | ES62X-WVFTT | 用于晶圆级VF-TLP测试的TDR-S测试装置，含探针座 |
| 与TLP系统匹配的示波器 | ||
| 8.1 | MISC-OSC1 | 数字示波器( 1GHz, 5Gs, 4通道, 推荐用于标准TLP测试) |
| 8.2 | MISC-OSC6 | 数字示波器( 6GHz, 5Gs, 4通道, 推荐用于VF-TLP测试) |
许多配置可根据客户需求定制。ES622系列TLP脉冲IV曲线系统（含 HMM、HBM、MM 外部模块）
