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Miracle Vision 3D显微镜
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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
1. 产品概述:
Miracle Vision系列提供了非接触的表面形貌测量,具有可重复性,可广泛应用于半导体芯片、光学透镜、金属表面、汽车涂层、MEMS器件等广泛精密加工行业的形貌、粗造度长度、曲率、深度、体积、颗粒分布等形貌测量,同样适用于航天、医疗、材料、科学研究域。可检测各种粗糙度、各种反射率的器件表面,检测器件的表面尺寸从纳米、微米到毫米,都可由同一台设备完成,提供主流的国内外标准下,上百种测量参数,将观测细节可视化、数据化,一次完成。由于物镜的小分辨率和长焦深不能由单次拍照获得。为了能够观察到长焦深范围内小尺寸特征和结构,托托科技采用景深融合技术,一次性观察不同焦深的高分辨率图像。景深延拓通过分析不同焦点高度处的对比度变化,实现对物体的三维表面测量和特征描述,能够详细检查物体表面,并以长景深的方式获取精确的三维成像。白光干涉形貌仪是一种快速且高分辨率的技术,用于大范围的表面拓扑测量,能够实现亚纳米分辨率的重建。