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GNP CLEANER-428L CMP后清洗机
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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
1. 产品概述:
适用晶圆尺寸:100mm(4) ~ 200mm(8")
配置:独立配置4个清洗工位用DIW喷雾预清洗两个双面滚刷清洗用氮气吹干旋转漂洗
清洁器尺寸:1800 w 970D 1500 hmm
电刷尺寸:038(OD) 018(ID) 310(L)mm
预清洗工位:DIW喷雾清洗,工位间DIW帷幕清洗辊刷工位
化学:2个化学泵(每个刷室1个),NH4OH(< 0.1wt%)或DIW
刷型:双面PVA刷刷位调节:手动控制(可用刷隙范围:-1.5mm ~ 2mm)
转速:<满量程的2%
范围30 ~ 400rpm
化学品流量:满量程< 1L/min
DI流量:满量程< 5L/min
旋转速度:高2500转/分DIW冲洗/ N2吹扫/强扫
控制工艺:喷淋清洗/双面刷清洗/旋漂干洗/湿洗/干洗
程序控制:PC & PC触摸监控,程序可编程,计算机网络可比