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QSG-150-2Y 中科微电子 单片晶圆清洗机

型号
QSG-150-2Y
参数
产地类别:国产
河北中科微电子有限公司

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生产厂家

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中科微电子 单片晶圆清洗甩干机

在线询价
多晶合成设备,晶体生长设备,晶圆加工设备,湿法清洗设备,晶圆检测设备

河北中科微电子有限公司是一家集半导体芯片、微电子、新材料工艺设备研发、生产、销售于一体的高科技企业。

公司汇聚了众多相关行业、领域的高级管理和技术人才,具有自主研发、设计和制造工艺设备的能力。与众多科研院所及半导体上市公司相关单位建立开放式的技术交流,旨在不断解决工艺制备领域不断变化的市场需求,不断突破国外厂家长期以来形成的技术壁垒。 以灵活、创新的合作模式,打造高效的技术研发平台,不断提升产品核心技术。 公司尊崇踏实、拼搏、责任的企业精神,并以诚信、共赢、开创经营理念,创造良好的企业环境, 以全新的管理模式,完善的技术,周到的服务,令人信赖的品质为生存根本,我们始终坚持用户至上用心服务于客户,坚持用自己的服务去打动客户。

主营产品:多晶合成设备、晶体生长设备、晶圆加工设备,湿法清洗设备、晶圆检测设备等。



详细信息

二、主要结构特征
单片清洗甩干机主要伺服电机,PLC控制器,人机界面,高洁净阀门,PFA管,氮气加热器,防腐蚀外壳,以及甩干头等部分组成。
2.1材质:进口PP板,能够满足洁净室工作环境。
2.2专用伺服电机,可实现每分钟10-3000转,低速均匀清洗,高速离心甩干。
2.3工业PLC控制器和人机界面,稳定可靠控制各个部件,直观可视化操作模式。
2.4大功率氮气加热器,快速加热氮气,提高烘干效率。
2.5甩干头详情 可根据客户需要定制适用不同规格尺寸的甩干头。
2.6可配置多组药液冲洗,并有药液回吸功能。


三、主要技术参数

项目

主要性能指标和参数

加工硅片尺寸

2-8 英寸圆片

单次甩干数量

1片

工位数量(个)

1个

药液槽

2个

药液加热

药液喷嘴

2个

纯水喷嘴

1个

氮气喷嘴

1个

旋转速度 RPM/MIN

10-3000

清洗甩干时间

2-5min

腔室及氮气加热方式

电加热器

氮气压力

0.25Mpa,氮气管接口6mm

纯水压力

0.15Mpa, 管接口6mm

排水管

12mm卡套接头

控制系统

PLC可编程控制器

显示

4.3寸触摸屏

电源

220V

整机功率

2KW

外型尺寸(深*宽*高)mm

长420mm*宽420mm*高535mm


四、售后服务及培训

4.1技术培训

设备试生产运行前,卖方负责培训买方相关操作和维修人员,内容包括设备操作维护、故障的分析和处理。

4.2售后服务

质保期内设备如发生故障,在得到买方通知后 4 个小时给答复,24 小时内卖方派有经验的工程师到现场进行维修。

卖方对设备提供终生的免费技术支持,随时处理、解答买方提出的技术问题。

质保期内每年派出 1~2 名相关技术人员到厂作指导及进行相应维护。

技术培训和售后服务期间卖方人员的费用由卖方承担。


五、设备验收

5.1设备交货期见商务合同

5.2交货方式

设备在买方的施工现场安装调试完毕、连续试生产正常运行 30 日后,验收合格整体交货。

设备到货开箱前卖方应提前3天通知买方,由买方、卖方和监理共同进行设备的初验。

卖方在设备包装发货qian10天通知买方到卖方制造现场验收,经买方验收人员验收合格签字后确定发货时间;设备验收时须提供相关验收资料,但不作为设备的结束验收。


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产品参数

产地类别 国产
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详询客服 : 0571-87858618
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