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Batch Type 部件镀膜设备

型号
Batch Type
深圳市矢量科学仪器有限公司

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冷热台,快速退火炉,光刻机,纳米压印、磁控溅射,电子束蒸发

深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。

致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。

公司目前已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。








详细信息

高真空基础In-line Sputter设备,其核心优势如下:
高生产率:
该设备的一个完整生产周期仅需220~360秒,具体时间可能因产品而异。
工艺优化与品质提升:
我们对Sputter工艺进行了全面优化,从而显著提升了产品的品质。
引入了Plasma Clean Sputter Plasma Cleaning工艺,有效增强了产品表面的附着力,进一步提升了产品品质。
精密仪器与设备耐用性:
设备采用了精密的仪器安装工艺,确保了设备的稳定运行。
设备具有出色的耐用性,维护周期长,且维护费用低廉。
自主研发材料:
我们采用了自主研发的材料,相比其他公司的材料,我们的材料价格更为低廉。
使用自主研发的材料,我们成功提升了产品的品质,同时提高了生产效率,并优化了Arching等控制功能。
综上所述,这款高真空基础In-line Sputter设备以其高生产率、优化的工艺、精密的仪器安装、出色的设备耐用性、低廉的维护费用以及自主研发的高品质材料,为相关行业提供了显著的优势和价值。

Chamber & Door∮800 * 1500, 2 Door, STS(SUS)304
Pumping System* RP + MBP + D/P
* Cryo cooled polycold unit
Cooling Devices* Cooling Traps for Pumping Unit
* Cooling Chiller for Cathode
Power Supply* DC Power (Sn, AL, NI, SUS, Sputter)
* Cooling Chiller for Cathode
Control UnitPLC, Touch Screen
Cycle Time4.5~6.5min (根据产品可能有所不同)



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