北崎HORIBA堀场MU-3000多组分气体混合装置

北崎HORIBA堀场MU-3000多组分气体混合装置

浓度稳定的气体生成

质量流量控制可生成浓度准确的混合气体，而不受供给压力或环境温度变化的影响。

配备多气体/多范围功能模型质量流量控制器，支持多种气体类型，允许客户改变气体类型和流量范围。

易于使用的

专用软件可让您轻松设置生成气体的流量和气体浓度。

它具有编程功能，因此您可以创建自己喜欢的食谱。

兼容多种流量

兼容多种流量，从微小流量（几个 SCCM）到大流量。

驾驶模式

手动：每条MFC线均可手动操作。

自动：根据预设配方（程序）进行操作。

本地：从 PC 启动配方/停止配方（可选择暂停）

远程：通过外部信号启动配方/停止配方（可选择暂停）

显示功能

瞬时流量设定值/瞬时流量值/累计流量显示/总发生流量值/总发生流量累计值

可以设定并显示产生的气体浓度值。

电磁阀开/关状态

配方运行状态显示（显示各步骤的剩余步骤）

配方创建功能（程序功能）

每行最多可创建 50 个步骤的程序。

（包括斜坡上升/下降功能）

自带循环功能

配方记忆功能/配方确认功能

每个流量的记录功能

由于可以记录产生的气体的流量，因此可以保留操作状态的记录。

MFC自动调零功能

可通过 PC 软件进行自动调零。

报警功能

●流量异常 ●外部异常报警 ●通讯异常

配备宽范围MFC

配置软件该

装置配备了 MFC，允许客户更改气体类型和流量范围。

您可以使用专用软件（配置软件）轻松更改 MFC 规格，而无需拆卸 MFC。

即使您更改MFC气体类型或流量范围，控制软件也会自动加载MFC信息，使更改后的初始设置变得容易。

易于改变气体类型

MFC的多气体功能可以让您轻松改变气体类型。无需使用转换系数进行校正，并且可以精确控制流量，因此在更换多个气瓶时使用时非常有效。

宽范围浓度产生

MFC的多范围功能可以在不增加MFC的情况下大大扩展混合气体的浓度范围。由于可以在较宽的浓度范围内生成，因此可以减少MFC生产线的数量并降低成本。

我司代理及优势品牌一览明细：

代理品牌：CCS晰写速 SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉

NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山

优势品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC

S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野

IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣

HEIDON新东、KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基

SURUGA骏河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤

RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等

优势产品：日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯

变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、应力表面检查仪、LED光源机、电子天平、粘度计、膜厚计，恒流泵、采样泵、PH计、水分计、地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪，接近开关、拉拔机、异音检测仪、下死点检测装置、空气测量泵、应变测试仪等期待您的咨询。

日本供应HORIBA堀场气体混合装置MU-220