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XUV/EUV EUV/XUV波前传感器
高级会员第5年
代理商巨力光电(北京)有限公司立足于北京市副中心通州区,专门引进欧洲、美国、日本等国家制造的先进科学仪器设备,为客户提供完备的售前咨询和售后服务、技术支持。公司骨干在该行业有超过10年的经验,专业的服务水平、完整的售后服务体系。
目前主要产品涉及材料科学、微纳米技术、表面测量和光电器件、光伏产品、半导体器件的检测与研发等领域。
公司本着以科技为导向、以客户为中心、以服务为宗旨,竭诚为新老客户提供贴心的服务!
主要特点
Hartmann波前传感器(相干和非相干辐射)
紧凑结构
光化性能检测
-EUVL 等离子源
-自由电子激光
-HHG高次谐波束
实时光学调整
单个脉冲重复性:λ/116 (wrms),for EUV (λ =13.5 nm)
技术规格
波长范围:<1nm~60nm(量子转换涂层)
视场:9mmX6.7mm(可选更大尺寸)
动态范围:14Bit
Hartmann 盘:precision pinholes Ø75μm, 250μm pitch
倾角:±10°
XY调节范围:±10mm
UHV兼容:CF63法兰
Wavefront measurement of Free Electron Laser FLASH
(DESY/Hamburg) at λ=13.5nm, before (above) and after
(below) adjustment of beam line optics (B. Flöter, K.
Mann, K. Tiedtke et al. NIM A 635, S108–S112 (2011) )
Spot pattern @ λ=1.5 nm
(LCLS / Stanford)
Reconstructed intensity profile
光束测试软件
测试基于ISO标准
Parameter | Standard |
Beam diameter光束直径 | ISO 11146 |
Divergence | ISO 11146 |
Beam profile光束剖面 | ISO 13694 |
Pointing 指向/ pos. Stability位置稳定性 | ISO 11670 |
M2 质量因子/ Focusability聚焦性 | ISO 11146 |
Wavefront 波前 / Phase distribution相位分布 | ISO 15367 |
Coherence 相干 | - |
Around 20 various camera types are supported |
巨力光电(北京)科技有限公司立足于北京市副中心通州区,专门经销欧洲、美国、日本等国家制造的科学仪器设备,为客户提供完备的售前咨询和售后服务、技术支持。公司骨干在该行业有超过10年的经验,专业的服务水平、完善的售后服务体系。
目前主要产品涉及材料科学、微纳米技术、表面测量和光电器件、光伏产品、半导体器件的检测与研发等领域。公司本着以科技为导向、以客户为中心、以服务为宗旨,竭诚为新老客户提供优质的服务!