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BTF-1400C-II-OP-R 多功能回转CVD系统
- 型号
- BTF-1400C-II-OP-R
安徽贝意克设备技术有限公司成立于2012年，基地位于安徽合肥，是一家集新材料设备研发、生产、销售与技术服务于一体的高科技企业。
公司重视技术攻关和产品研发，建有超卓的产品研发中心，拥有一支由多名博士硕士组成的专业研发队伍，累计获得patent200余项。并通过产学研合作，与北京大学南开大学等多所院校建立联合实验室及研究生联合培养基地
公司专注于新材料装备工艺开发及装备制造，产品门类涵盖了OLED材料提纯专用设备系列、碳材料制备设备系列、半导体专用设备系列及金属纳米颗粒设备系列四大类共十余个子类，与众多材料厂商、科研院校等保持长期合作关系，市场营销网络遍布全球各地。
连年来，公司相继被认定为“高新技术企业”“专精特新企业““科技小巨人培育企业”“石墨烯生长设备工程技术研究中心”“瞪羚企业”“雏鹰企业”，并接连获得“中国隐形独角兽500强”“科技创新奖”“创新创业奖”等多项荣誉。
详细信息
多功能回转CVD系统：由加热系统、炉管转动系统、供气系统、真空系统，工控及操作系统等组成。
加热主体 | |
额定功率 | 10KW |
额定电压 | AC 220V （L+N+PE）2P 63A空开 |
最高温度 | 1400℃ |
持续工作温度 | ≤1300℃ |
推荐升温速率 | ≤10℃/min |
加热区数量 | 2区，独立控温 |
加热区长度 | 300+300mm |
热电偶 | S型热电偶 |
控温方式 | 人机界面加PLC控制，10寸液晶屏控制，数字工控仪表双控，采用工业智能控温仪表和软件实现双控，采用模糊型PID控制 |
控温精度 | ±1℃ |
加热元件 | 硅碳棒 |
腔体尺寸 | 中间外径Ø100* 端头外径Ø60*长度1400mm |
管径尺寸 | Φ60*1400mm |
炉膛保温材料 | 氧化铝纤维 |
表面温度 | ≤60℃ |
金属密封法兰 | 磁流体密封法兰 |
控制器 | 可编程控温仪表，PID调节，升、降保温全自动 |
无纸记录 | 内置存储记录运行工艺数据，外接USB接口可以电脑连接一键拷贝数据 |
三路供气系统 | |
连接头类型 | 双卡套不锈钢接头 |
流量计类型 | 浮子流量计（3个），量程可选 |
最大压力 | 3MPa |
接口 | Φ6 |
内外双抛不锈钢管 | Φ6 |
压力真空表 | －0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
截止阀 | Φ6卡套接头 |
真空系统 | |
空气相对湿度 | ≤85% |
工作电电压 | 220V±10% 50~60HZ |
功率 | 1千瓦 |
抽气速率 | 10m3/h |
实验真空度 | 5.0X10-1Pa |
容油量 | 1.1L |
进气口口径 | KF25 |
排气口口径 | KF25 |
转速 | 1450rpm |
噪音 | 50dB |
真空计 | |
配用规管 | ZJ-52T电阻规 |
测量范围 | 10 5 ～10 -1 Pa |
测量路数 | 1路 |
控制范围 | 5×10 3 ～5×10 -1 Pa |
控制方式 | 继电器触点输出，负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载 |
电源 | 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz |
功耗 | 20W |
