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晶圆加热装置
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探针冷热台，半导体冷热台，光学冷热台，XRD原位测试冷热台，原位拉伸冷热台，拉伸机冷热台，SEM冷热台，高低温试验箱，拉伸试验机环境箱，光电力学测试系统。
果果仪器GoGo Instruments成立于2017年，主要从事测试设备的开发、集成和技术服务，专注冷热控制技术相关的 力学、电学、光学 原位测试，为先进材料、半导体、新能源、生物医药、矿业等领域提供测试整体解决方案。
作为科研设备及测试技术服务商，公司一直秉承“不断创新，为科研保驾护航”的品牌理念，为科学研究提供前沿、优质和性价比的产品、服务。拥有多学科的专业研发技术人员，具备丰富的软、硬件开发经验和开发能力。果果仪器拥有自主知识产权的核心技术。专业的销售团队和技术人员，快速响应解答客户难题 ； 积极、完善的售后服务让您无后顾之忧。公司产品已销售至清华大学、上海交通大学、西安交通大学、中科院、南方科技大学、华为等一百多所科研院所和企业， 获得广泛好评。
果果仪器GoGo Instruments目前已拥有小型温控设备，如探针冷热台、光学冷热台、半导体冷热台、XRD冷热台 、 SEM冷热台、原位拉伸冷热台 、拉伸机冷热台、电化学测试冷热台等；针对样品变温测试的环境箱 ；各种测试系统和解决方案，如介电温谱/频谱/阻抗谱测试系统、电介质充放电测试系统、电卡测试系统、变温I-V测试系统、高压I-V测试系统、热激励去极化电流测试系统、OLED变温光电测试系统、变温拉曼测试系统、DIC变温拉伸测试系统等。果果仪器支持定制开发，定制接口和支架，兼容不同仪器设备，满足客户的特殊需求。
详细信息
果果仪器 晶圆加热装置在半导体制程过程中非常重要，特别是在一些关键工艺中，如晶圆退火、键合、匀胶、刻蚀、气相沉积等，它可以提供稳定的温场环境及精密的盘面均匀温度，确保晶圆在各种温区中的加热要求，从而实现半导体器件的制造和研发。
产品特点：
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快速升温
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温度均匀
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控温稳定
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多温区可调
适用领域：半导体、芯片、晶圆等
8英寸不锈钢晶圆键合加热模块：
8英寸铝合金加热盘：
晶圆加热盘，RT~400℃，温度均匀性≤±4℃，盘面平整度≤0.02mm
8英寸不锈钢加热盘：
RT~550℃，真空时使用
↑ 仿真模拟 ↑
↑ 平面度检测及温控曲线 ↑
