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DST2-TGB VacTechniche真空镀膜系统,手套箱溅射

型号
DST2-TGB
参数
产地类别:进口 价格区间:10万-30万 应用领域:综合
皕赫科学仪器(上海)有限公司

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代理商

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详细信息

VacTechniche真空镀膜系统,手套箱溅射

Vac Techniche 真空镀膜系统

DST2-TG 是双目标涡轮泵浦溅射镀膜机,带热蒸发器,适用于手套箱,是一种多真空镀膜机系统,将热蒸发器和溅射镀膜机结合在一个紧凑的桌面系统中,通过 Wi-Fi 连接进行远程系统控制,可通过触摸屏和 PC 进行控制。高真空系统适用于各种材料的沉积。
双磁控管靶台式溅射镀膜机可以在蒸发和溅射沉积之间轻松切换,以制备多层镀膜。

DST2-TGB
手套箱系统

手套箱系统为敏感材料提供受保护的环境,防止与空气或湿气接触以及不必要的相互作用。DST2-TG 带手套箱的高真空镀膜系统可在惰性气体气氛下的沉积过程之前或之后提供安全、清洁的基板处理,以及高度可控的腔室环境,有助于在高真空条件下实现高纯度薄层沉积。

VacTechniche真空镀膜系统,手套箱溅射

DST2-TGB
台式磁控溅射镀膜机

VacTechniche真空镀膜系统,手套箱溅射

DST2-TG 磁控管台式溅射镀膜机是一种高精度半/全自动真空镀膜系统,配备一个大腔室(直径 300 毫米)和两个直径为 2 英寸的水冷阴极,使其适用于长时间沉积。该系统是用于溅射、碳纤维和金属蒸发的单一平台。磁控管台式溅射镀膜机可以溅射半导体、电介质和金属靶材。溅射阴极和热蒸发舟可以一起安装或互换安装,总共有三个沉积源可用。利用碳纤维也可以实现碳沉积。

VacTechniche真空镀膜系统,手套箱溅射

DST2-TGB 手套箱溅射和热蒸发

  • 溅射镀膜机和热蒸发器的组合,用于手套箱安装
  • 内置涡轮分子泵
  • 大腔室:直径 30 厘米,高。20-25 厘米
  • 简单快速的目标安装:无需目标支架
  • 利用带背板的目标增强热传导
  • 旋转样品架
  • 安装在手套箱上的KF40馈入件,用于电源(直流、射频、大电流)、真空泵软管、水冷和氩气/反应气体连接以及电气连接。
  • 通过 MFC 进行气体注入控制
  • 双精度石英晶体厚度传感器
  • Vac Coat 产品在全球范围内由公共和产品责任保险承保,以防 Vac Coat 系统造成任何财产损失或人身伤害。


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产品参数

产地类别 进口
价格区间 10万-30万
应用领域 综合
企业未开通此功能
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