瑞士VAT真空闸板阀在中国的合作供货商

VAT是一家在真空阀门领域处于绝对位置的瑞士公司，VAT自1964年成立以来，在真空阀门技术领域实现了专业化的运作。因其强大的研发创新和业界闻名的高品质，世界各半导体芯片设备、太阳能设备制造厂商、大学和科研机构大量采用了VAT公司的产品，其生产的阀门在真空产生和研究系统中都是业界的标准组件。

VAT阀门主要运用在：半导体加工，玻璃或镀膜设备，高能物理（科研），同步加速器（科研），激光技术，空间模拟，冶金，表面分析等行业。产品包括：插板阀、蝶阀、传送阀、隔膜阀、角阀等，是高灵敏度和高可靠性的控制真空阀。

产品服务：

瑞士VAT阀门、闸阀、钟摆阀、控制阀、角阀、隔膜阀、连接部件、多阀门模块、加热器、镀膜

品牌介绍：

VAT真空阀门公司是一家活跃于市场的瑞士公司，是真空阀门开发、制造和销售的公司。产品广泛用于半导体、镀膜行业和研发、平板显示器制造，玻璃和工具镀膜，冶金，表面分析，高能物理学，同步加速器，激光技术和太空旅行模拟等领域。

主要型号：

010系列、012系列、081系列、091系列、108系列、110系列、121系列、140系列、150系列、152系列、162系列、168系列、640系列、641系列、650系列、652系列、022系列、032系列、043系列、075系列、076系列、066系列、211系列、214系列、216系列、245系列、264系列、471系列、773系列、790系列、790系列

瑞上VAT部分产品介绍

1.VAT闸阀

具有模块化执行机构概念的VAT紧凑型迷你超高压闸阀非常适合I业和研发应用。它通常用于半导体工艺系统的管道中。插入版本

以集成到真空系统中(无阀体)，更高的密封材料(Chemraz, EPDM等)， 带有VITON制成的密封件，可更换，特殊的阀门浇口，适

合安装各种孔板。

2.VAT蝶阀

VAT蝶阀是下游应用的蝶形压力控制阀。带有非常快速且坚固的执行器，高性能，集成控制器，具备极短的控制响应时间和位置指I

示，自动维护指示，出色的抗污染能力。该阀”的控制器可确保非常快速和准确的压力控制。通过操作L EARN功能，在启动时只

需要执行一次，即可自动确定系统参数。由于采用了自适应算法，因此控制器可以连续适应过程条件(气体种类，气体流量)，从而

确保随时进行最佳压力控制。

B.VAT转换阀

VAT转换阀用于200.300和450毫米晶圆的半导体生产系统中的负载锁定和处理室隔离。双作用气动执行器，主体材质为铝，不锈

钢，波纹管受保护，使用寿命长，大于500万次循环的预期寿命，公称内径32x222到56x496毫米。

4.VAT角阀

VAT角阀适用于大多数腐蚀性气体，除气率极低。当排气速率极低时，对于特高压系统的泵送和排气很重要。耐高压差，固定式可

旋转CF法兰，在最高温度80°C下可以进行300万次循环，主体材质不锈钢，执行器类型分为手动执行器(手轮)，气动执行器(单闭

孔，带有闭合弹簧NC)。

5.VAT软启动阀

VAT软启动阀由两半节流阀瓣组成，它们支撑在一条公共轴 上，并通过弹簧保持在打开位置。轴保持在ISO KF对中环中，该对中环

形成为带有阀座的主体。将它们安装在两个SO-KF法兰(而不是定心环之间时，必须将打开的阀对准真空管路中的气流。当粗加

工系统投入运行时，在粗加工管线中会产生强气流，该气流会立即关闭阀门，并使管段减少约99%。当达到约2%的压差时，在

15mbar时，阀]打开并几乎毫5阻碍地离开管道，以进行进步泵送。

瑞士VAT真空闸板阀在中国的合作供货商