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气体MFC
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生产厂家上海欧锐铂仪器科技有限公司主营高精度气体质量流量控制器及气体控制相关仪器仪表与设备的研发、制造、销售与维护。致力于为各类企业、高等院校及科研院所提供稳定可靠的精密流量控制设备及技术支持。公司拥有一支专业的研发技术团队,产品具有精度更高、响应更快、性能可靠、外形美观、返修率低等特点,广泛应用于材料、化工、电子、环保、新能源等领域。
公司主要产品有:高精度气体质量流量控制器\流量计(MFC\MFM)、流量显示仪、积算仪、湿式气体流量计、智能气路控制仪、便携式智能气路控制仪、气体渗透膜透过率测试仪、高精度配气仪、高精度气体标定仪、燃料电池测试配气仪、气体湿度调节控制仪、柔性密封材料漏率检测仪、嗅觉辨识测试仪等12大类50余种型号。
公司秉承“诚信专业、合作共赢”的经营宗旨,凭借专业的技术、丰富的产品经验,针对客户的不同需求,为其提供专业化的、实用性的、可订制的方案和服务,赢得了广大新老客户的信赖与支持。
我司愿与国内外各界同仁志仕携手合作、共创未来!
气体MFC是热式质量流量计。气体质量流量控制器(Mass Flow Controller,以下简称MFC)可对气体的质量流量进行精密测量和控制;应用领域:中流量,适用于材料科学、纳米传感器、环境科学及催化评价等研究。
产品特点(优势):
气体MFC具有稳定可靠、响应时间短、标定精度和重复精度高等优点,安装方便,无安装位置和直管段要求,操作简单,可配合流量显示仪或其他显示仪表使用,也可通过模拟/数字信号转换器(AD/DA转换器)配合计算机使用。
产品参数:
产品名称 | 气体质量流量控制器WGL-5180(模拟) | |
基本型号 | WGL-5180 | WGL-5180M |
流量规格①(N2标定) | 0~10,50,100,500 SCCM 0~15,20,25,30 SLM | |
调节阀类型 | 常闭式 | 无 |
量程比 | (2~100)%F.S.或50:1 | |
流量分辨率 | 0.1%F.S. | |
准确 | ±1%F.S. (≤15SLM) ±2%F.S. (>15SLM) | |
重复精度 | ±0.2%F.S. | |
响应时间 | ≤2sec | ≤1sec |
工作压差范围 | 0.05~0.3MPa (<2SLM) 0.1~0.3MPa (2SLM-10SLM) 0.15~0.3MPa(>10SLM) | <2MPa |
最大耐压 | 2MPa | |
工作环境温度 | 5~45℃ | |
电缆接头 | DB15pin(针形) | |
输入输出信号 | 0~+5.00V(输入阻抗大于100kΩ,输 出电流不大于3mA) | 0~+5.00V(无输入信号,输出电流不 大于3mA) |
供电电源要求 | +15VDC(50mA),-15VDC(200mA) | +15VDC(50mA),-15VDC(50mA) |
对外单点泄漏率 | ≤1×10-8Pa·m³/S(He) | |
介质接触材质 | 316,316L,密封填料 | |
密封材料 | 氯丁橡胶CR,氟橡胶 FKM | |
管道接头尺寸 | VCR型接头:1/4” 双卡套型接头:1/4”、3/8”或φ6、φ10 mm 内螺纹:9/16-18UNF内螺纹(深度<8mm) | |
净重量 | 1.00kg | 0.8kg |
注1;满量程流量不限于表中列出的流量规格,可以在20SLM~30SLM范围内任选,例如23SLM。 |
产品尺寸:
接线定义: