描述

六氟化硫在许多应用中仍是必须的，作为一种示踪、保护或绝缘气体。由于SF6的高温室效应，对气体的负责任处理变得更加重要。MicroFLOW SF6.100 Vol.-%传感器适用于需要精确和可靠的广泛应用领域。

应用领域

工业：SF6用于等离子蚀刻工艺，在半导体材料如硅、二氧化硅和其他化合物上创建精确图案。该气体被用在特殊的蚀刻室中，通过施加高频能量转化为等离子体。这个等离子体然后选择性地与材料反应，使得在一个非常受控和准确的过程中精确地雕刻或移除材料。

在铝的生产中，六氟化硫被用作示踪气体，以提高生产效率并尽早检测潜在问题。它还用于监测最终产品的质量和一致性。

能源技术：在电力供应领域，SF6被用作高压开关设备和变压器中的绝缘气体和冷却介质。测量六氟化硫对于早期识别泄漏以及监测系统状况非常重要。

测量精度

我们的NDIR气体传感器在测量和监测六氟化硫时能够获得精确的结果。通过10点线性化，在整个测量范围内，测量的气体浓度的最大偏差小于1%。

传感器可靠地检测最小气体浓度，以识别气体混合物中的最微小变化。您可以自由选择应用程序的测量范围，例如从整个0到100 vol.-%的测量范围中的90 vol.-%。

由µP.sens压力传感器在样品池块中补偿任何因压力波动或气压变化引起的偏差（< 0.1 % / 10 hPa），消除了潜在的泄漏或测量值的伪造。通过将压力传感器集成到样品池块中，与类似传感器相比，模块的整体空间需求减少了。

每个传感器都确保了温度补偿。每个模块的测试和校准在气候室中进行，使用特定浓度的测试气体在测量过程中记录和调整误差曲线。测试和校准在5至45摄氏度的传感器操作范围内进行，包括零点和跨度点，以及传感器操作范围内的其他典型温度。最大偏差每10K小于1%。

功能范围

RS232和CAN-Bus数字接口是行业标准配置。使用可选配件和MARSlight软件为您的配置选择一个接口。遵循软件手册中的说明。

样品池针对测量高达100%体积比的六氟化硫进行了优化。

与常规传感器相比，我们的传感器允许在300 - 1200 hPa的宽压力范围内进行测量。例如，传感器适合更高地理位置或需要负压测量的系统。

使用寿命

阳极氧化铝气体连接块确保在恶劣环境条件下的长寿命和可靠性。不锈钢气体连接进一步增强了耐用性。

在操作温度范围内进行的气候室测试消除了组件的过早故障。

安装和操作

免费下载MARS light软件用于气体传感器，立即开始使用您的气体传感器。软件消除了创建自己的软件的需要，并在初始测试测量上节省时间。传感器消耗不到1瓦，可以使用电池供电的设备。易于集成，具有9到30伏的宽电压范围，使其可以连接到大多数现有系统。

根据具体需求，分析前可能需要对气体进行预冷或加热。为了防止样品池中的潜在气体凝结效应，可以监测测量系统中的气体温度。

我们的模块化设计使清洁和维护变得简单，不同于许多同类产品。

有关安装和操作的详细信息可以在用户手册中找到。

我们的数据表简要列出了最重要的技术细节。我们将很高兴就您个别的问题和要求提供咨询。

应用

l在高功率应用中的泄漏监测

l绝缘气体的监测

l绝缘气体的质量保证

产品优势

l压力值和气压变化的最小偏差（< 0.1% / 10 hPa）

l工业上常用的接口可用

l由于高质量材料而维护成本低

l可用于电池供电设备

l可以监测测量系统中的气体温度

l维护和清洁轻松完成

特点

l10点线性化

l通过集成压力传感器进行压力补偿

l温度补偿

l数字接口RS232/CAN-Bus

l具有高化学抗性的坚固设计

l可测量气体温度

l模块化设计

l对CF4没有交叉灵敏度

技术参数

1.                      零点气体测量：氮气；相关条件为Pa = 1020 hPa；Ta = 25°C；流量 = 1 l/min。

2.                      完整规格，取决于环境条件。

3.                      在零点处。

4.                      具有量程温度补偿。

5.                      建议在稳定的气候条件下使用，请检查露点注意事项。

机械制图

俯视图

前视图

侧视图

产品概述