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GSZ-RTS-4 四探针检测仪
- 型号
- GSZ-RTS-4
液氮治疗仪/污垢热阻测试仪/电测水位计/空盒气压表/污染数测定仪/薄膜过滤器/紫外辐照计/PH计/紫外分析仪/石油合成液抗乳化检测仪
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详细信息
四探针测试仪/四探针电阻率测试仪/四探针检测仪/单测四探针检测仪(接电脑，含自动测试台)型号：GSZ-RTS-4(SDY-4替代)GSZ-RTS-4型数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法家标准并参考美A.S.T.M标准而的，用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的用仪器。
本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、等院校对半导体材料的电阻性能测试。由主机、测试台、四探针探头、计算机等分组成，测量数据既可由主机直接显示，亦可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析，然后以表格，图形方式统计分析显示测试结果。采用了电子行、装配。具有能选择直观、测量取数快、度、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等优点。
GSZ-RTS-4型四探针软件测试系统是个运行在计算机上拥有友好测试界面的用户程序，通过此测试程序辅助使用户简便地行各项测试及获得测试数据并对测试数据行统计分析。
测试程序控制四探针测试仪行测量并采集测试数据，把采集到的数据在计算机中加以分析，然后把测试数据以表格，图形直观地记录、显示出来。用户可对采集到的数据在电脑中保存或者打印以备日后参考和查看，还可以把采集到的数据输出到Excel中，让用户对数据行各种数据分析
参数：
| 测量范围 | 电阻率：0.001～200Ω.cm（可扩展）； 方块电阻：0.01～2000Ω/□（可扩展）； 电导率：0.005～1000 s/cm； 电阻：0.001～200Ω.cm； |
| 可测晶片直径 | 140mmX150mm（配S-2A型测试台）； 200mmX200mm（配S-2B型测试台）； 400mmX500mm（配S-2C型测试台）； |
| 恒源 | 电量程分为0.1mA、1mA、10mA、100mA四档，各档电连续可调 |
| 数字电压表 | 量程及表示形式：000.00～199.99mV； 分辨力：10μV； 输入阻抗：>1000MΩ； 度：±0.1% ； 显示：四位半红色发光管数字显示；性、量程自动显示； |
| 四探针探头基本标 | 间距：1±0.01mm； 针间缘电阻：≥1000MΩ； 机械游移率：≤0.3%； 探针：碳化钨或速钢Ф0.5mm； 探针压力：5～16 牛顿（总力）； |
| 四探针探头应用参数 | （见探头附带的合格证） |
| 模拟电阻测量相对误差 （ 按JJG508-87行） | 0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字 |
| 整机测量zui大相对误差 | （用硅标样片：0.01-180Ω.cm测试）≤±5% |
| 整机测量标准不确定度 | ≤5% |
| 计算机通讯接口 | 并口 |
| 标准使用环境 | 温度：23±2℃； 相对湿度：≤65%； 无频干扰； 无强光直射； |
