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EV-SA20,EV-SA30 EBARA EV-SA系列真空干泵
- 型号
- EV-SA20,EV-SA30
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杭州域势科技有限公司，专注于为工业及科研客户提供流量、压力监测控制相关的技术服务及解决方案，公司代理经销美国ALICAT、瑞士Vogtlin、美国MKS、日本EBARA等品牌，结合代理的产品为客户提供优质的流量及压力监控解决方案，旨在提高客户的研发及生产效率、改进客户制造工艺、推动客户科研及创新进度。
我们代理经销的品牌：ALICAT、VOGTLIN、MKS、Fischer、KOBOLD、VAT。
我们的产品：
1. 热式气体质量流量计及控制器
2. 层流式质量流量计及控制器（气体）
3. 液体质量流量计及控制器
4. 压力控制器、压力传感器
5. 真空计及真空阀门
6. 真空配件及Feedthrough
我们服务的领域：
1. 生物制药、生命科学研究
2. 工业自动化及汽车制造
3. 新能源制造（锂电、光伏、氢能）
4. 半导体及泛半导体行业
5. 科研及航天航空研究
详细信息
EBARA EV-SA系列真空干泵
EBARA EV-SA系列真空干泵
是无需冷却水的小型空冷干式真空泵。尽管属于安装自由度高的小型设计，最大排气速度达到5000L/min，具有节能、低噪的优点，除了用于生产工厂以外，还可用于实验室和研究室等各种不同环境，也是是各种分析仪器和电子显微镜等洁净排气用途的优质选择。
技术特点：
l 小型、轻量、占地面积小
l 风冷
l 节能
l 低噪音
l 双螺杆结构
l 无需维护
l 认证标准： CE、SEMI-S2/NRTL
典型应用：
l 科研实验室
l PVD真空镀膜
l 质谱仪
l 等离子清洗
l 半导体、光伏制程
技术参数：
设备名称 | 单位 | EV-SA20 | EV-SA30 | EV-SA50 | |||||||
排气速度 | L/min | 1,670 | 3,300 | 5,000 | |||||||
极限压力 | Pa | 3.0/ 5.0* | 2.0/ 3.0* | 0.5/1.0* | |||||||
连接口径 | 吸气口 |
| NW40 | NW40 | NW50 | ||||||
排气口 |
| NW40 | NW40 | NW40 | |||||||
极限压力时功率概值 | kW | 0.45 | 0.45 | 0.5 | |||||||
冷却方式 |
| 空冷 | 空冷 | 空冷 | |||||||
电源 | 额定电压 50/60Hz |
| 单相 200-240V | 单相 200-240V | 单相 200-240V | ||||||
电压允许波动范围 |
| ±10% | ±10% | ±10% | |||||||
电源容量 | kVA | 3.0 | 3.0 | 3.0 | |||||||
质量概值 | kg | 65 | 90 | 150 | |||||||
*为气镇打开时数值 | |||||||||||
尺寸图：
型号 | EV-SA20 | EV-SA30 | |
尺寸（mm） | 长 | 584 | 713 |
宽 | 324 | 356 | |
高 | 347 | 347 | |
