炉管清洗机 专业解决管道清洗污垢问题
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生产厂家芯矽科技是一家专注半导体湿法设备制造公司,主要提供实验室研发级到全自动量产级槽式清洗机,单片清洗机,高纯化学品/研磨液供应回收系统及工程,公司核心产品12寸全自动晶圆化学镀设备,12寸全自动炉管/ Boat /石英清洗机已占据行业主导地位,已经成功取得长江存储,中芯国际,重庆华润,上海华虹,上海积塔,上海格科,广东粤芯,青岛芯恩,厦门士兰,南通捷捷,湖南楚微等主流8寸12寸Fab产线订单,我们致力于为合作伙伴提供适合你的解决方案。
炉管清洗机工作原理
炉管清洗机通过多种方式实现其清洁功能。首先,它使用钻头式清洗技术,能够深入炉管内壁的每一个角落,包括难以触及的弯头部位,确保清焦率达到99%以上。清焦效果不仅提高了炉管的传热效率,还延长了炉管的使用寿命。其次,炉管清洗机采用自动冲水装置,实现边清洗边冲水,达到去除污垢清洗内壁的效果。此外,炉管清洗机还采用机械臂自动进入干燥位干燥,加快生产效率。这些技术手段共同确保了炉管清洗机的有效性和高效性。
炉管清洗机功能
酸腐蚀系统:炉管清洗机利用酸腐蚀系统对石英管、SIC、石英Boat及石英Parts进行清洗。
循环过滤系统:通过循环过滤系统,可以有效地去除清洗过程中产生的杂质和颗粒。
冲水系统:冲水系统用于清洗后的冲洗,确保清洗效果。
炉管清洗机特点
主体材料:炉管清洗机的主体材料采用了德国进口的PP板,以及优质不锈钢骨架,外包PP板,确保了设备的耐腐蚀性和结构稳定性。
管路材质:DIW管路及构件采用日本进口的clean-PVC管材,酸碱管路采用PFA/PVDF材质,满足18M去离子水水质要求,保证了流体传输的高纯度和安全性。
安全措施:该设备设有EMO(急停装置),强电弱点隔离,所有电磁阀均高于工作槽体工作液面,电控箱正压装置(CDA Purge),设备三层防漏楼盘倾斜漏液报警,设备整体置于防漏托盘内,排放管路加过滤装置,所有槽体折弯成型,可有效避免死角颗粒。