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KOH刻蚀机 苏州芯矽KOH刻蚀
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生产厂家芯矽科技是一家专注半导体湿法设备制造公司,主要提供实验室研发级到全自动量产级槽式清洗机,单片清洗机,高纯化学品/研磨液供应回收系统及工程,公司核心产品12寸全自动晶圆化学镀设备,12寸全自动炉管/ Boat /石英清洗机已占据行业主导地位,已经成功取得长江存储,中芯国际,重庆华润,上海华虹,上海积塔,上海格科,广东粤芯,青岛芯恩,厦门士兰,南通捷捷,湖南楚微等主流8寸12寸Fab产线订单,我们致力于为合作伙伴提供适合你的解决方案。
KOH刻蚀机对于不少人来说,正在熟悉了解的阶段。那么先从用材、产品性能等等开始介绍吧。相信一定可以给大家带来帮助,希望能给迷茫的童鞋带来指点迷津的效果。
主体材料:
主体通常采用德国进口的10mm厚PP板(聚丙烯板),这种材料具有优异的耐腐蚀性和结构稳定性,能够抵抗KOH溶液等腐蚀性化学物质的侵蚀。
设备的骨架则由优质不锈钢制成,外包3mm厚的PP板进行防腐处理,进一步增强了设备的整体耐腐蚀性和结构强度。
管路及构件材料:
DIW(去离子水)管路及构件采用日本进口的clean-PVC管材,这种材料能够满足高纯度流体传输的要求,确保清洗过程中水质的纯净度。
酸碱管路则采用进口PFA/PVDF材质,这些材料同样具有良好的耐腐蚀性和耐高温性,能够应对酸碱溶液的输送需求。
控制系统材料:
控制系统中,触摸屏采用8.0英寸大型触摸屏(PROFACE/OMRON),显示清晰,操作便捷。
控制系统还配备了三菱、欧姆龙PLC控制器,实现自动化程度高、配比精确、操作简便的控制模式。
安全保护材料:
设备设有EMO(急停装置)、强电弱点隔离、电磁阀高于工作槽体工作液面、电控箱正压装置(CDA Purge)等多种安全保护措施,确保操作过程的安全性。
设备整体置于防漏托盘内,排放管路加过滤装置,所有槽体折弯成型可有效避免死角颗粒,进一步降低了安全风险。
产品性能主要体现在以下几个方面:
高精度处理:
能够实现高精度的化学腐蚀,满足半导体制造过程中对精细图案和结构的需求。其刻蚀速率在不同的温度和刻蚀液浓度下是可控的,且通过加入异丙醇等催化剂可以进一步调节蚀刻速率,以达到更精细的控制。
良好的可控性和速率:
具有良好的可控性,刻蚀过程中产生的二氧化碳容易排出,从而减少了被刻蚀物的削弱。这使得KOH刻蚀在半导体制造中成为一种重要的刻蚀方法。
优异的材料兼容性:
采用的主体材料为德国进口的10mm厚PP板和优质不锈钢骨架,外包3mm厚的PP板,具有优异的耐腐蚀性和结构稳定性。DIW管路及构件采用日本进口的clean-PVC管材,酸碱管路材质为进口PFA/PVDF,能够满足高纯度流体传输的要求。
自动化程度高:
该设备通常配备8.0英寸大型触摸屏(PROFACE/OMRON)显示、检测和操作,每个槽前上方对应操作按钮与触摸屏互相配合,实现操作的精确性和便捷性。同时,还具备自动供酸系统(CDS),自动化程度高,配比精确,操作简便。
安全性能强:
设有EMO(急停装置)、强电弱点隔离、电磁阀高于工作槽体工作液面、电控箱正压装置(CDA Purge)等多种安全保护措施。设备整体置于防漏托盘内,排放管路加过滤装置,所有槽体折弯成型可有效避免死角颗粒,确保操作过程的安全性。
广泛的应用领域:
应用于半导体制造行业,特别是需要高精度化学处理的场合。它可以用于单晶硅电池表面绒面话处理、硅片表面V型槽刻蚀、金字塔或者倒金字塔结构刻蚀等应用。
稳定的性能和可靠的质量:
性能稳定,质量可靠,能够长期稳定运行。这得益于其优质的材料选择、精密的加工和组装以及严格的质量控制。