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衬底电阻率方阻测试仪
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生产厂家公司成立于2021年,是一家注册在苏州、具备技术的非接触式半导体检测分析设备制造商。公司集研发、设计、制造、销售于一体,主要攻克国外垄断技术,替代进口产品,使半导体材料测试设备国产化。
主要产品:非接触式无损方块电阻测试仪、晶圆方阻测试仪、方阻测试仪、硅片电阻率测试仪、涡流法高低电阻率分析仪、晶锭电阻率分析仪、涡流法电阻率探头和PN探头测试仪、迁移率(霍尔)测试仪、少子寿命测试仪,晶圆、硅片厚度测试仪、表面光电压仪JPV\SPV、汞CV、ECV。为碳化硅、硅片、氮化镓、衬底和外延厂商提供测试和解决方案。
凭借*的技术和丰富的产品设计经验,申请各项知识产权20余项,已发展成为中国大陆少数具有一定国际竞争力的半导体专用设备提供商,产品得到众多国内外主流半导体厂商的认可,并取得良好的市场口碑。
衬底的定义
1. 衬底的物理与化学性质
衬底,或称基片(substrate),是指在半导体器件制造过程中用来支持其他材料或结构的底层材料。衬底的物理性质包括其晶体结构、机械强度、热导率、膨胀系数等,而化学性质则涵盖其纯度、表面化学稳定性、化学反应活性等。常见的衬底材料如硅(Si)、砷化镓(GaAs)、碳化硅(SiC)等,因其物理与化学性质而被广泛应用。
2. 衬底的作用与功能
在半导体制造中,衬底起到至关重要的支撑作用。首先,衬底为后续的材料沉积和器件制作提供了一个平整且稳定的基础,其次,衬底材料的选择直接影响器件的性能和制造成本。此外,衬底还需具备良好的机械强度和热导率,以支持器件在高功率和高温条件下稳定运行。