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CEM3000 高空间分辨率台式扫描电镜
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生产厂家深圳市中图仪器股份有限公司成立于2005年,致力于全尺寸链精密测量仪器及设备的研发、生产和销售。
中图仪器坚持以技术创新为发展基础,拥有一支集光、机、电、信息技术于一体的技术团队,历经20年的技术积累和发展实践,研发出了基础计量仪器、常规尺寸光学测量仪器、微观尺寸光学测量仪器、大尺寸光学测量仪器、常规尺寸接触式测量仪器、微观尺寸接触式测量仪器、行业应用检测设备等全尺寸链精密仪器及设备,能为客户提供从纳米到百米的精密测量解决方案。
中图仪器CEM3000系列高空间分辨率台式扫描电镜是一款用于对样品进行微观尺度形貌观测和分析的紧凑型设备。其抗振设计,在充满机械振动和噪音的工业环境中依旧稳如泰山,不管是高楼的实验室,还是有一定振动的生产车间等非常规电镜使用环境,都能拍摄出清晰、高分辨率的图像。
不同于立式电镜,CEM3000系列台式扫描电镜无需占据大量空间来容纳整个电镜系统,这使其甚至能够出现在用户日常工作的桌面上,在用户手边实时呈现所得结果。
此外,该系列台式电镜也可以进入手套箱、车厢还是潜水器等狭小空间内大显身手。即便在一些常规电镜难以耐受的工作环境中,该系列台式电镜也能凭借抗振防磁技术,展现出色的性能。
1)台式电镜紧凑的外型,CEM3000系列台式扫描电镜能够不受场地尺寸制约,真正做到了空间适用性,用户甚至可以将其就近摆放在自己的桌面上。同时CEM3000也能根据用户需求,轻松移机,一台机器多处开花;
2)高分辨率,能够对微尺寸特征进行观测分析,满足用户的观测需求;
3)快速抽放气,凭借真空系统设计,该系列台式电镜缩短了用户抽放气的等待时间;
4)高易用性,能够快速成像、一键出片,用户使用自动调节功能,无需过多人工操作,就可得到高质量拍摄图片;
5)大样品仓,CEM3000A在保证较小外型尺寸同时,具有比肩立式电镜的大仓室,从而容纳更大尺寸样品;
6)高抗振防磁性能,全系列电镜均具有优秀的抗干扰能力,特别是CEM3000B使用本公司技术,基于复合抗振手段,将扫描电镜抗振性能提升到了新的高度;
7)可选配低真空模式,保证用户能够根据需要设定电镜样品仓内真空度,进而对不同类型的样品进行观测;
8)能够提供多种成像参数供用户选择,满足专业用户的调节需求;
9)搭配有多种探头,能够对样品进行多种手段的分析。
该电镜外型紧凑,空间适用性强,整机采用大量的抗干扰设计,避免使用环境造成的影响,拓宽了应用范围。同时,该系列台式电镜具有非常丰富的自动调节功能,能够对不同类型的样品进行观测,具有高空间分辨率。
用户可在CEM3000系列台式扫描电镜上搭配不同的探头,同时接收多种信号,对样品进行分析。
应用范例:
CEM3000系列高空间分辨率台式扫描电镜运用了快速抽放气设计,让用户在使用时不再等待,且全系列可选配低真空系统,以便精准调节样品仓内真空度,满足不同样品的观测需求。此外,CEM3000系列共涵盖CEM3000A(大样品仓型)和CEM3000B(抗振型)两款强化机型,CEM3000A在不改变整机外观尺寸的情况下,拓展了样品仓尺寸,从而可对大尺寸样品或多个常规尺寸样品进行分析。同时,用户也可选择加装有减振仓的CEM3000B,确保在缩短抽放气时间的同时,消除环境振动对电镜的影响,保证了高倍数成像时的图像质量。
1、紧凑外型
该系列台式扫描电镜整机经过深入优化,在结构方面达到了优尺寸利用率,确保其出色的性能不再受环境尺寸的制约,无论是日常的工作桌面、还是狭小空间,CEM3000系列台式扫描电镜总能陪伴用户出现在有需要的地方。
2、自动调节
用户可借助自动调节功能,无需过多人工调节,便可一键得到理想的拍摄图片。
3、高分辨率
CEM3000系列电镜具有出色的电子光学系统,优于4nm的空间分辨率,保证了高放大倍数下的清晰成像,能够满足纳米尺度的形貌观测需求。
4、高抗振防磁性能
该系列台式电镜采用特殊设计的隔振措施,能够减小环境中振动对电镜的干扰,并且全系列电镜具有强抗电磁干扰性能,消除场地因素对电镜的影响。
其中CEM3000B更是采用本公司设计的高性能复合抗振系统来消除外界振动对电镜的影响,即使是在高放大倍数下成像,用户也不用担心环境振动对电镜产生的干扰。
5、选配低真空系统
根据用户需求,可选配低真空系统。该系统让用户可以任意设定电镜工作时的仓内真空度(仓内真空度低可达100Pa),以满足不同类型样品的观测需求。
6、操纵手柄
操作手柄上集成了多个方向位移控制,自动调整及自动对焦、自动消像散等功能,可快速完成观测位置调整及自动成像。
7、丰富的定制功能
根据特定行业的需求,定制了自动化的颗粒度统计、孔隙率测量等选配功能。
可根据用户需求提供全自动软件定制服务。
8、高精度样品台
该系列台式电镜采用全新设计的样品台,各自动轴均保证了动作精度和高重复性。
9、高衬度成像系统
采集系统具有高信噪比,使用户在快速扫描时也能获取到充足的信号。即使针对微弱信号,CEM3000系列台式电镜搭载的处理算法亦可将信号从背底中进行高效剥离,确保成像质量。
型号 | CEM3000A(大样品仓型) | |
电子枪 | 灯丝 | 钨灯丝 |
分辨率 | 优于4nm(SE),优于8nm(BSE) @20kV | |
加速电压 | 1 ~ 20kV | |
放大倍数 | 电子图:40 ~ 200,000×(可选配大图拼接) | |
探测器 | 二次电子 | 标配 |
背散射电子 | 标配(四象限高分辨探头) | |
能谱仪 | 选配 | |
自动化软件 | 标配:自动合轴、自动聚焦、自动消像散、一键图像增强 | |
选配:颗粒度统计、孔隙率测量、纤维测量、三维粗糙度重建 | ||
真空系统 | 真空度 | 高真空:优于9×10-3Pa 低真空:5 ~ 100 Pa(选配) |
抽真空时间 | 低真空模式 < 1.5min 高真空模式 < 3min | |
样品台 | 自动轴 | X,Y,T |
手动轴 | R,Z | |
行程范围 | X: 50mm | |
Y: 50mm | ||
R: 0°~360°(手动旋转、电子束旋转) | ||
T: -22.5°~ +22.5° | ||
Z: 45mm | ||
最大样品尺寸 | 70mm×70mm(水平) 45mm(高度) | |
仓内相机 | 导航相机 | 标配高分辨彩色相机 |
侧视相机 | 标配高分辨红外相机 | |
操作系统 图片尺寸 | Windows10 (64bit) | |
640×480 | ||
1280×960 | ||
2560×1920 | ||
5120×3840 | ||
10240×7680 |
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