参考价：¥10000-¥20000
半导体静电吸附盘清洁晶圆
该企业相似产品
“半导体陶瓷材料”，"clean pad"，“clean wafer”，“多孔陶瓷真空吸盘”
易达新材料有限公司成立于2023年，致力于为客户提供陶瓷材料解决方案。主要产品及服务：
半导体结构陶瓷（陶瓷热板）研发、生产、销售
多孔陶瓷真空吸盘 研发、生产、销售
复合材料（Clean pad and clean wafer）研发、生产、销售
易达新材料搭建市场平台，依托现有陶瓷专家团队与专业半导体市场团队人员，让陶瓷材料研发技术快速进行市场转化，为客户解决结构陶瓷供应安全问题。
详细信息
半导体静电吸附盘清洁晶圆-clean wafer：
在晶圆生产蚀刻/薄膜真空设备ESC 静电吸附盘表面掉落粉尘后会导致B/H cool flow 异常，通过clean wafer 清洁静电卡盘，能够有效解决相关问题，减少设备停机时间，提高设备利用率。
武汉易达新材料有限公司还为客户提供了多中产品选择方案：
CCW 300-E/CCW 200-E 适用于Dry ETCH/PVD/CVD的ESC清洁以及真空吸盘表面清洁
CCW 300-T/CCW 200-T 适用于探针测试设备的探卡清洁
此产品优秀的性能将会为客户减少由于B/H问题带来的设备PM成本，减少客户down 机时间。
