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Lumina AT2 薄膜缺陷检测仪
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北京圣达骏业，专注于工业检测领域，以客户需求为导向，从成立之初的红外测温，工控传感两个产品线，经过十五年的行业积累和沉淀，建立了良好的客户信任和全面的厂家渠道。产品线拓展为现场检测，实验室分析相关十余种。
广泛服务于环保，电力，石油，化工，制药，工矿等企业，及科研院所，高校实验室。
秉承为客户创造价值，互利共赢，薄利多销，共同发展的理念，致力于为客户甄选具有服务质量，口碑好，性价比高的产品，做客户信得过的*仪器仪表集成服务商。
坚持诚信，专业，高效，感恩的态度，为客户提供行业动态，项目设计，方案咨询，产品选型，专业采购和安装培训等全程优质服务。
北京圣达骏业科技有限公司正在不断完善产品线，以便为您提供更好的服务！
详细信息
Lumina AT2 薄膜缺陷检测仪产品特点：
实现亚纳米薄膜涂层、纳米颗粒、划痕、凹坑、凸起、应力点和其他缺陷的全表面扫描和成像。
实用于透明、硅、化合物半导体和金属基底。
在2分钟内扫描并显示300毫米晶圆。
动态补偿表面翘曲。
可以标刻出缺陷的位置，以便进一步分析。
可容纳高达450 x 450 mm的非圆形和易碎基板。
能够通过一次扫描分离透明基板上的顶部/底部特征。
Lumina AT2 薄膜缺陷检测仪系统优势的四个检测通道：
偏光（污渍、薄膜不均匀性）
坡度（划痕、表面形貌）
反射率（内应力、条纹）
暗场（颗粒、夹杂物）
AT2应用：
1.透明基底上的缺陷
2.单层污渍或薄膜不均匀性
3.化合物半导体的晶体缺陷
在化合物半导体基底和外延生长层上检测和分类多种类型的晶体缺陷
AT2的多用途：
缺陷类型
薄厚基板
透明和不透明基板
电介质涂层
金属涂层
键合硅片
开发和在线生产
AT2 软件使用来自多个探测器任意组合的数据生成缺陷图和报告：
地图和位置
缺陷数量
彩色编码缺陷
缺陷尺寸
