$item.Name
$item.Name
$item.Name

首页>分析仪器>色谱>色谱/紫外/蒸发光检测器

NR7-1000P NR9-1000P NR5-8000 Futurrex紫外负性光刻胶 产品关键词:光刻胶NR9;nr7负性光刻胶;nr7光刻胶;nr5要多少钱;NR7光刻胶;光刻胶nr7;...

型号
深圳市科时达电子科技有限公司

中级会员1年 

经销商

该企业相似产品

美国OCEAN 用于教学和实验室的紧凑型分光光度计 FLAME-CHEM 产品关键词:ocean分光光度计

在线询价

日本日立 F-7100荧光分光光度计 产品关键词:日立荧光分光光度计F-7100;日立f-7100荧光分光光度计;日本日立f-7100

在线询价

日本奥林巴斯 LEXT OLS4500纳米检测显微镜 产品关键词:奥林巴斯lex;奥林巴斯ls4500;奥林巴斯4500;4500纳米;lext日本奥林巴斯

在线询价

美国OCEAN 分光光度计CHEMUSB4-VIS-NIR 产品关键词:OCEAN分光光度计

在线询价

富士PI DRUIMIDE@7500 ,FB5610,FB6610, LTC9000系列 光刻胶 产品关键词:fb5610光刻胶;富士ltc9000系列;富士光刻胶;富士pi;富士6610...

在线询价

美国OCEAN 光谱仪FLAME-S-UV-VIS

在线询价

E-Beam 电子束光刻胶 产品关键词:电子光刻胶;电子束光刻胶价格;e-beam电子束;beam电子束

在线询价

美国Quantum DynaCool无液氦综合物性测量系统 产品关键词:综合物性测量系统厂家;无液氦综合物性测量系统;无液氦综合物性测量系统

在线询价
本公司主要从事半导体进口设备及辅助材料、医疗检测设备等多领域的销售,是一家集研发、制造、销售为一体的企业。我们的主营业务涉及了研发销售及加工材料及周边产品;电子光电产品设备研发组装及销售,半导体仪器设备销售;国内贸易、货物及技术进出口;医疗器械研发及销售;医用耗材及医疗用品的销售等
 

详细信息

Futurrex紫外负性光刻胶NR7-1000P NR9-1000P NR5-8000



可在基本的水显影剂中显影的负性光刻胶


特性
厚度范围 lt;0.1-120.0 µm
对波长小于380nm的灵敏度
优于表面拓扑的线宽控制
直侧壁适合任何膜厚
能够在单次旋涂中涂覆100 µm厚的膜
由于应用了150°C的软烘烤,烘烤时间更短(对于厚膜至关重要)
出色的光速,可提高曝光量
有助于提高RIE中的功率密度,从而提高蚀刻速率和蚀刻产量
消除使用粘合促进剂
RIE /离子耐高温 厚度 湿法蚀刻 厚度
增强附着力
NR7-250P 0.2um-0.6um NR9-250P 0.2um-0.6um
NR7-1000P 0.7um-2.1um NR9-1000P 0.7um-2.1um


NR7-1500P 1.1um-3.1um NR9-1500P 1.1um-3.1um
NR7-3000P 2.1um-6.3um NR9-3000P 2.1um-6.3um
NR7-6000P 5.0um-12.2um NR9-6000P 5.0um-12.2um
NR5-8000 5.8um-100.0um NR9-8000P 6.0μm-100um
耐温性= 150°C 在低于120°C的处理温 耐温性= 100°C。
度下可在25°C剥离NR5和NR7系列抗蚀剂 NR9系列抗蚀剂具有增强的附着力
在25°C时易于剥离。
Futurrex NR5-8000,4.5:1 AR


抗蚀剂分辨率的示例
膜厚度:54µm
掩模尺寸:12µm线/间隔
曝光剂量:1100 mJ / cm 2。
焦点偏移:-15µm。
曝光工具:Ultratech步进土星
模型,i-line
另有:NR9G g和h线曝光用粘度增强 具有高粘附性适用于电镀及湿法蚀刻
NR71G g和h线曝光用于干法蚀刻中掩模应用并能作为隔层

相关技术文章

同类产品推荐

相关分类导航

产品参数

企业未开通此功能
详询客服 : 0571-87858618
提示

请选择您要拨打的电话:

当前客户在线交流已关闭
请电话联系他 :