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日本SIMCO 离子风棒 Aerobar 5635 5645MP 静电消除器

型号
日本SIMCO
参数
应用领域:环保,生物产业,农业,建材,电子
深圳市安川测量仪器有限公司

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详细信息

离子风棒 Aerobar 5635 5645MP 静电消除器

特征

单晶硅电极在全球范围内拥有的应用记录,具有超低颗粒特性,避免了电极材料造成的金属污染风险。
MP(脉冲调制)方法可有效地将离子传输至电极。静电中和性能
电位摆动小,即使在 100 mm 的距离内也可使用,并且离子平衡在棒长度上几乎没有偏差
离子发生状态和离子平衡由智能控制电路持续自动管理
更换。 1/4 圈即可安装和拆卸 该型电极有助于减少维护工时
 MP 方法的特点是电位波动非常小,从而简化了设置。较小的电位波动还可以有效地保持长期状态。控制标准内的离子平衡
。 ■杆的长度根据半导体前端工艺的 EFEM 设置
紧凑型设计,内置 24V DC 驱动控制器
全球范围内的高级支持网络

离子风棒 Aerobar 5635 5645MP 静电消除器

规格

型号 5635 AeroBar MP

输入电压24V 直流+/-10%
输出电压最大约13.5kv pp可调
安装距离100mm 至 1000mm(无空气吹扫)
离子发生方式电晕放电方式
MP(脉冲调制)方式 调制频率 1 ~ 33 Hz
离子平衡自动平衡调整方法
<+/-10V 正下方 位置差异 <+/-10V
(600 mm 距离)
电极单晶硅电极可更换
吹扫气体清洁干燥空气或N2
最大吹扫压力310Kpa
臭氧量<0.05ppm(24小时积分值)
信号输出报警IO集电极开路输出
尺寸
高78mm x 深34mm x 长度450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/1750
/1900/2050/2200/2350mm 以下
外部的ABS树脂
什么是扩展 ISO Class1,10nm?
关于扩展 ISO 1 级,10nm 这是 ION Systems 独立确定的清洁度定义,以支持微粒管理。 ISO14644-1定义最小粒径为100nm。扩展ISO Class 1,10nm采用与ISO14644-1相同的计算允许颗粒数的公式,对于直径10nm以上的颗粒,允许颗粒数为1200pc/m3(34 pc/ft3)。


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应用领域 环保,生物产业,农业,建材,电子
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