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日本SIMCO 离子风棒 Aerobar 5635 5645MP 静电消除器
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离子风棒 Aerobar 5635 5645MP 静电消除器
■单晶硅电极在全球范围内拥有的应用记录,具有超低颗粒特性,避免了电极材料造成的金属污染风险。
■MP(脉冲调制)方法可有效地将离子传输至电极。静电中和性能
■电位摆动小,即使在 100 mm 的距离内也可使用,并且离子平衡在棒长度上几乎没有偏差
■离子发生状态和离子平衡由智能控制电路持续自动管理
■更换。 1/4 圈即可安装和拆卸 该型电极有助于减少维护工时
■ MP 方法的特点是电位波动非常小,从而简化了设置。较小的电位波动还可以有效地保持长期状态。控制标准内的离子平衡
。 ■杆的长度根据半导体前端工艺的 EFEM 设置
■紧凑型设计,内置 24V DC 驱动控制器
■全球范围内的高级支持网络
离子风棒 Aerobar 5635 5645MP 静电消除器
型号 5635 AeroBar MP
输入电压 | 24V 直流+/-10% |
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输出电压 | 最大约13.5kv pp可调 |
安装距离 | 100mm 至 1000mm(无空气吹扫) |
离子发生方式 | 电晕放电方式 MP(脉冲调制)方式 调制频率 1 ~ 33 Hz |
离子平衡 | 自动平衡调整方法 <+/-10V 正下方 位置差异 <+/-10V (600 mm 距离) |
电极 | 单晶硅电极可更换 |
吹扫气体 | 清洁干燥空气或N2 |
最大吹扫压力 | 310Kpa |
臭氧量 | <0.05ppm(24小时积分值) |
信号输出 | 报警IO集电极开路输出 |
尺寸 | 高78mm x 深34mm x 长度450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/1750 /1900/2050/2200/2350mm 以下 |
外部的 | ABS树脂 |