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ESMFM-650 皂膜气体流量标准装置
- 型号
- ESMFM-650
爱拓利精准流量测控AITOLY INSTRUMENTS由苏州爱拓利电 子设备有限公司及无锡爱拓利电子科技有限公司组成 。总部苏州爱拓利位于苏州市吴江区柳胥路99号半导体智能 制造创新港。分公司无锡爱拓利成立于2017年，位于无锡新吴区清源路20号大学科技园 。爱拓利精准流量测控AITOLY INSTRUMENTS，专业从事气体质量流量测量与控制 。 爱拓利拥有自己的研发团队，具有高水平的产品设计、结 构、硬件和软件等研发能力，是国内少数能够自主研发生产高精度气体质量流量计和气体质量流量控制器的企 业 ， 更是国内极少数能够自主研发生产气体流量计及流量控制器核心部件（ 高精度气体流量传感器和高稳定性微型比例阀 ）的气体流量控制产品生产厂家。爱拓利质量流量计及控 制器被广泛应用于半导体、光 伏、真空镀膜、生命科学、燃料电池、精度分析仪器 、石化、制气 、医疗 、食品 、工业自动化控制等行业。在不断追求创新和突破的同时，爱拓利十分注重产品品质。爱拓利有一套严谨科学的检测标准和质量控制体系，并通过了ISO9001质量体系认证。通过标准化生产，规范化管理 ，爱拓利持续稳定地向顾客提供高质量的合格产品。通过多年的研发、生产和应用经验积淀，爱拓利先后推出了多款气体质量流量计和控制器。支持多种通讯协议，气体种类覆盖面广、控制及测量精度高 、响应速度快、性能稳定 。
详细信息
ESMFM-610 皂膜气体流量标准装置，采用高灵敏度红外光电管采样、精密电路控制、微电脑处理、触摸屏操控及显示、多通道测量，显示直观、操控方便、数据准确、测量范围大并可保存多达10W 条以上黑历史测量数据。该仪器广泛用于小气体流量的测量及泄漏率的检测。高配置款内置4 路高精度、高控制稳定性的气体质量流量控制器（MFC），为测量提供高精度、高稳定性的气体输出，使测量更加精度、便捷。
l 多通道测量，可根据不同的测量量程选择适合的测量通道，大大提高气体流量的测量范围及测量精度，测量通道切换简便。
l 采样准确：采用高速、高灵敏度红外传感器采样，高运算能力芯片控制计时，使采样时间准确，从而避免因人工读数造成的误差，大大提高仪器的整机精度
l 实时温度、压力测量及转换：高精度的温度及压力传感器，实时、准确的对待测气体进行温度和压力的测量，将测量的工况流量同步计算转换成需要的标况流量值 。
l 智能处理及控制：自动识别测量通道，各通道独立显示标况流量值，标况温度可选；自动统计处理及记录测量数据（平均值，RSD）
l 内置 4 路MFC气体质量流量控制器，为高精度的气体流量测量控制稳定的气流，使测量更精度、便捷。
l 大屏幕显示，操作简洁便捷。
应用场景
Ø 气体采样器流量校正
Ø 烟道监测仪器流量校正
Ø 实验室分析仪器载气流量校正
Ø 测试仪器气体流量校正
Ø 气体流量测量计校正
Ø 工件泄漏率检测
主要性能及参数
l 测量流量范围：
通道一：0.05~30 mL/min
通道二：20~1000 mL/min
通道三：600~6000mL/min
l 测量流量精度等级：0.5 级
l 4路质量流量控制器范围及精度：
气路 1：量程50sccm，精度：0.01sccm
气路 2：量程300sccm，精度：0.1sccm
气路 3：量程1000sccm，精度：0.1sccm
气路 4：量程6000sccm，精度：1sccm
l 环境温度：5~45℃
l 相对湿度：85%
l 供电电源：220VAC
l 适用环境：非防爆场。
皂膜气体流量标准装置广泛应用于多个行业，主要包括化工、医药、环保、石油等。这些行业对气体流量的精度要求较高
