ZEISS/蔡司ORION NanoFab多离子束显微镜
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公司经营产品：
仪器仪表系列：示波器、频谱分析、网络分析仪、信号发生器、色彩分析仪、音频分析仪、耐压测试仪、直流电源、地线导通测试仪、漏电电流测试仪、绝缘测试仪、LCR电桥、万用表、亮度计、测试探头等等。
智能家居系列：智慧办公方案、智慧酒店系统、智慧家庭控制系统、智能门锁、智能家电管家、智能窗帘电机、智能开窗器、智能晾衣架、智能开关、智能墙面插座、智能移动插座、智能灯泡、智能摄像机、智能门铃、智能激光电视、智能背景音乐主机、智能家庭KTV、智能魔镜、智能早教机器人、智能扫地机器人、智能烟雾报警器等等。
安防监控系列：网络摄像机（枪机、球机、摇头机）、模拟摄像机、NVR、DVR等等。
数码产品系列：无线耳机、电子手表、运动摄像机、行车记录仪、车载导航、音箱等等。
详细信息
ZEISS/蔡司ORION NanoFab多离子束显微镜
ORION NanoFab
集 3 种聚焦离子束于一体的显微镜，可以实现亚 10 nm 结构的超高精度加工
ORION NanoFab 集镓、氖、氦三种离子束于一身，是能实现从微米到纳米微加工的优良成像加工系统。
介绍
集 3 种聚焦离子束于一身的显微镜，可以实现亚 10 nm 结构的超高精度加工
快速、精准的亚 10 纳米结构加工。借助 ORION NanoFab 显微镜可在镓、氖及氦离子束之间实现无缝切换：
氖离子束可以快速高效地进行纳米结构加工。
氦离子束可以加工亚 10nm 级精度的结构。
备选的镓聚焦离子束能够进行大块样品材料的刻蚀。
ORION NanoFab 集镓、氖、氦三种离子束于一身，是能实现从微米到纳米微加工的优良成像加工系统。
ZEISS/蔡司ORION NanoFab多离子束显微镜特点
快速亚 10 nm 结构加工
使用氖和氦离子束加工有超高精度要求的精细亚 10 纳米结构。无论是使用溅射、气体辅助切割、气体辅助沉积或是光刻技术刻蚀材料，在亚 10nm 加工应用中 ORION NanoFab 均表现不凡。
集三种离子束显微技术于一体
使用镓聚焦离子束刻蚀大块材料。利用氖离子束快速完成微加工，利用氦离子束加工精细的亚 10 纳米级结构。利用氦和氖离子还可以防止传统 FIB 镓粒子注入引起的基体材料性质变化。
高分辨率成像
借助 0.5 纳米成像分辨率，它可在同一台加工仪器中实现样品的高分辨率成像。与使用场发射扫描电子显微镜（FE-SEM）成像相比，其可获得 5 至 10 倍的景深并和更丰富的图像细节。
纳米加工
Orion NanoFab 拥有纳米加工和成像引擎 - 配有集成软、硬件的控制系统。纳米图形发生器（NPVE）为每个 NanoFab 镜筒提供了一台 16 位扫描图形发生器，以及支持实时图案加工和成像的双信号采集硬件。通过图形化用户界面（GUI）控制离子束：可创建一系列可编辑的形状，如矩形、梯形、多边线、直线、折线、椭圆及点。然后，对这些形状进行矢量切割，并通过剂量和加工参数的调节进行过程控制。
