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恒歌超纯气流微粒工艺一体式过滤器
该企业相似产品
温湿度环境测量仪器，烧结过滤器多孔材料，高纯高压过滤系统配件，仪器设备多孔部件
深圳市恒歌科技有限公司是集高难度烧结过滤器、温湿度露点变送器的研发、制造、销售和服务为一体的专精特新型国家高新技术企业。深耕行业20余年，恒歌以“解决气液体世界的过滤、感知、分析难题，让生命更健康”为使命，不断地提升产品性能和质量，以解决各行业在环境测量和过滤净化、流体控制领域所面临的技术难题，助力客户不断地提高产品竞争力。公司拥有一支具备强大自主创新能力和丰富行业定制经验的工程师团队，以及系统、严谨、高效的产品设计生产体系，从产品研发到技术服务，从基础测量到应用，为客户提供多元化、全部的综合解决方案。
公司产品被广泛用于环保工程、环境探测、气体检测、过滤净化、流体控制、压缩空气、轨道交通、航空、高铁、制药器械、汽车制造、半导体、电子器件、智慧农业、仓储物流及食品加工等行业。
详细信息
用于半导体应用的高纯半导体工艺气体过滤器
产品介绍
工艺气体专用过滤器，专为半导体制程中真空腔体快速放气应用进行设计。结合了扩散器的气体流动特性和高效过滤器的颗粒拦截特性，扩散器专用过滤器过滤精度可达0.003μm。全316L不锈钢结构，不仅确保高效过滤，更巧妙的规避了湍流产生，对工艺室环境造成影响，有效防止气流吹起颗粒或者吹起硅片。可定制化设计，灵活适应各类安装空间。
产品特点
▶不锈钢粉末烧结介质，可快速排气
▶整体316L不锈钢结构
▶减少工艺腔体排气时的湍流
▶适用于多种工艺气体
▶洁净室环境内制造、测试、包装
▶100%完整性测试通过
▶100%氦气泄露检测通过
▶耐高温、耐高压、耐腐蚀
▶防止微粒混入，帮助提高产品合格率
▶可根据安装空间进行设计
