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CEM3000 国产台式电镜
高级会员第4年
生产厂家深圳市中图仪器股份有限公司成立于2005年,致力于全尺寸链精密测量仪器及设备的研发、生产和销售。
中图仪器坚持以技术创新为发展基础,拥有一支集光、机、电、信息技术于一体的技术团队,历经20年的技术积累和发展实践,研发出了基础计量仪器、常规尺寸光学测量仪器、微观尺寸光学测量仪器、大尺寸光学测量仪器、常规尺寸接触式测量仪器、微观尺寸接触式测量仪器、行业应用检测设备等全尺寸链精密仪器及设备,能为客户提供从纳米到百米的精密测量解决方案。
中图仪器CEM3000系列国产台式电镜空间分辨率出色和易用性强,用户能够非常快捷地进行各项操作。甚至在自动程序的帮助下,无需过多人工调节,便可一键得到理想的拍摄图片。CEM3000系列上还运用了快速抽放气设计,让用户在使用时不再等待,且全系列可选配低真空系统,以便精准调节样品仓内真空度,满足不同样品的观测需求。
1.高易用性快速成像、一键成片,无需过多人工调节。
2.超高分辨率优于4nm(SE),优于8nm(BSE)@20kV。
3.超大景深毫米级别景深,具有高空间分辨率。
4.多探测器可实现四分窗同时扫描成像。
5.抗振性能优异。
不同于立式电镜,CEM3000系列台式扫描电镜无需占据大量空间来容纳整个电镜系统,这使其甚至能够出现在用户日常工作的桌面上,在用户手边实时呈现所得结果。此外,该系列台式电镜也可以进入手套箱、车厢还是潜水器等狭小空间内大显身手。即便在一些常规电镜难以耐受的工作环境中,该系列台式电镜也能凭借抗振防磁技术,展现出色的性能。
1)台式电镜紧凑的外型,CEM3000系列台式扫描电镜能够不受场地尺寸制约,真正做到了空间适用性,用户甚至可以将其就近摆放在自己的桌面上。同时CEM3000也能根据用户需求,轻松移机,一台机器多处开花;
2)高分辨率,能够对微尺寸特征进行观测分析,满足用户的观测需求;
3)快速抽放气,凭借真空系统设计,该系列台式电镜缩短了用户抽放气的等待时间;
4)高易用性,能够快速成像、一键出片,用户使用自动调节功能,无需过多人工操作,就可得到高质量拍摄图片;
5)大样品仓,CEM3000A在保证较小外型尺寸同时,具有比肩立式电镜的大仓室,从而容纳更大尺寸样品;
6)高抗振防磁性能,全系列电镜均具有优秀的抗干扰能力,特别是CEM3000B使用本公司技术,基于复合抗振手段,将扫描电镜抗振性能提升到了新的高度;
7)可选配低真空模式,保证用户能够根据需要设定电镜样品仓内真空度,进而对不同类型的样品进行观测;
8)能够提供多种成像参数供用户选择,满足专业用户的调节需求;
9)搭配有多种探头,能够对样品进行多种手段的分析。
该电镜外型紧凑,空间适用性强,整机采用大量的抗干扰设计,避免使用环境造成的影响,拓宽了应用范围。同时,该系列台式电镜具有非常丰富的自动调节功能,能够对不同类型的样品进行观测,具有高空间分辨率。
用户可在CEM3000系列台式扫描电镜上搭配不同的探头,同时接收多种信号,对样品进行分析。
应用范例:
CEM3000系列共涵盖CEM3000A(大样品仓型)和CEM3000B(抗振型)两款强化机型,CEM3000A在不改变整机外观尺寸的情况下,拓展了样品仓尺寸,从而可对大尺寸样品或多个常规尺寸样品进行分析。同时,用户也可选择加装有减振仓的CEM3000B,确保在缩短抽放气时间的同时,消除环境振动对电镜的影响,保证了高倍数成像时的图像质量。
此外,该系列电镜也可通过加装各类探头和附件,满足用户的拓展性需求,这使其在材料科学、生命科学、纳米技术、能源等多个领域得到了广泛应用。CEM3000系列国产台式电镜根据特定行业的需求,定制了自动化的颗粒度统计、孔隙率测量等选配功能。还可根据用户需求提供全自动软件定服务。
型号 | CEM3000A(大样品仓型) | |
电子枪 | 灯丝 | 钨灯丝 |
分辨率 | 优于4nm(SE),优于8nm(BSE) @20kV | |
加速电压 | 1 ~ 20kV | |
放大倍数 | 电子图:40 ~ 200,000×(可选配大图拼接) | |
探测器 | 二次电子 | 标配 |
背散射电子 | 标配(四象限高分辨探头) | |
能谱仪 | 选配 | |
自动化软件 | 标配:自动合轴、自动聚焦、自动消像散、一键图像增强 | |
选配:颗粒度统计、孔隙率测量、纤维测量、三维粗糙度重建 | ||
真空系统 | 真空度 | 高真空:优于9×10-3Pa 低真空:5 ~ 100 Pa(选配) |
抽真空时间 | 低真空模式 < 1.5min 高真空模式 < 3min | |
样品台 | 自动轴 | X,Y,T |
手动轴 | R,Z | |
行程范围 | X: 50mm | |
Y: 50mm | ||
R: 0°~360°(手动旋转、电子束旋转) | ||
T: -22.5°~ +22.5° | ||
Z: 45mm | ||
最大样品尺寸 | 70mm×70mm(水平) 45mm(高度) | |
仓内相机 | 导航相机 | 标配高分辨彩色相机 |
侧视相机 | 标配高分辨红外相机 | |
操作系统 图片尺寸 | Windows10 (64bit) | |
640×480 | ||
1280×960 | ||
2560×1920 | ||
5120×3840 | ||
10240×7680 |
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