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布鲁克 Dektak系列台阶仪/探针式轮廓仪

      BRUKER布鲁克 Dektak系列台阶仪/探针式轮廓仪 ，适用于纳米级表面测量、表面形貌分析等多种领域，具有超过50年的研发历程，技术成熟，性能可靠。

      设备可实现 4Å （0.4nm） 的优异重复性和快速的扫描速度，为微电子技术、半导体、触摸屏、太阳能、高亮度 LED、医疗和材料科学、薄膜与涂层、生命科学应用等行业实现纳米级表面形貌测量技术提供支持。

布鲁克全新一代的台阶仪设备 - Dektak Pro

     Dektak Pro™ 以其多功能，使用的便捷性和准确的精度在薄膜厚度、台阶高度、应力、表面粗糙度和晶圆翘曲测量方面广受赞许。第十一代Dektak®系统，具有4 Å重复性的优异表现，并提供200毫米平台选项，在科研以及工业领域中可以为材料的表面形貌提供各种分析。在表面测量方面，Dektak Pro是微电子技术、薄膜与涂层和生命科学应用的理想选择。

强大的性能和重复性

      Dektak Pro以其强大的分辨率、稳定性、稳健性和耐用性，确保在未来数年甚至数十年内提供可靠的优质结果。新型号在Dektak平台上继承创新，提供更高的分辨率、更低的噪声和更便捷的探针更换，所有这些因素对于优化系统的重复性和准确性至关重要。

      在适当的环境下，Dektak Pro甚至能够测量1纳米的台阶高度，并在1微米台阶高度标准上实现优于4 Å的重复性。

性能体现在细节之中

      Dektak Pro的单拱设计有效降低了对不利环境条件（如噪声和震动）的敏感性，同时又可容纳大尺寸样品测试。新一代的智能电子技术应用更大限度地减少了温度变化和电子噪声，从而减少了高精度测量中的误差和不确定性。

      低惯量传感器（LIS 3）使系统能够快速适应表面形态的突然变化，在动态测量场景中保持准确性和响应性。探头更换技术通过自对准探头夹具，消除了错位和系统重新校准的需要，轻松完成探头更换，耗时不到一分钟。

快速获取结果

      Dektak Pro采用直驱扫描平台技术，这一先进的扫描平台技术大大减少了测量的时间而不影响分辨率和噪声底，从而加快了3D形貌或长轮廓扫描的结果获取速度，同时保持优异的数据质量和重复性。

      Vision64®软件采用64位并行处理技术，即使面对大数据也能实现快速的数据处理。此外，自动化的多次扫描分析操作简化了重复性任务，增强了速度和便捷性。

经典可靠的台阶仪 - Dektak XT

     布鲁克 DektakXT 探针式轮廓仪（台阶仪）采用了革命性的台式设计，结合成熟的技术和设计，实现了高性能、高易用性以及高性价比的统一，从研发到质量控制方面都有更好的过程控制。

设备特点：

-    强大性能，台阶高度重现性低于4Å

-    Single-arch（单拱门式）设计，提供突破性的扫描稳定性

-    升级的“智能电子器件”，提高测试精度和稳定性

-    优化的硬件配置，使数据采集时间缩短40%

-    64-bit、Vision64同步数据处理软件，使数据分析速度提高了十倍

-    直观的Vision64用户操作界面，使用更简单

-    针尖自动校准系统，让用户轻松更换针尖探针

-    广泛的探针型号

-    单传感器设计

-    确保高通量测试

探针式轮廓仪系统/台阶仪系统 - Dektak XTL

      Dektak XTL 探针式轮廓仪系统（台阶仪系统）是为大型晶圆和面板制造等应用而设计的探针式轮廓仪系统，可容纳高达 350mm x 350mm 的样品，拥有高精度的扫描性能和优异的可重复性和再现性。

      设备采用空气振动隔离和全封闭工作站设计，具有易用的联锁门，可用于苛刻的生产环境中。双摄像头架构，可增强空间感知能力。高自动化水平可更大限度地提高测试通量。

产品特点：

-      Dektak系列台阶仪所具有的强大性能

-      单拱形架构、集成振动隔离系统和大型联锁门

-      更大且支持高精度编码 XY 样品工作台

-      双摄像头控制系统

-      方便的分析和数据采集

-      N-Lite 低作用力，采用软触控技术

-      可靠的自动化设置和操作

-      增强的分析软件

-      针尖自动校准系统，让用户轻松更换针尖探针

-      广泛的探针型号