CA720 晶圆水滴角测量仪 测试半导体表面亲疏水性
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生产厂家广东北斗精密仪器有限公司,是一家集研发、生产、销售为一体的实验室精密仪器解决方案商。全心专注于力学类、环境老化类、光学类、涂膜制样类仪器的开发和应用,拥有多项国家的科技。总部位于东莞,并于江苏昆山、重庆设有分公司。为客户提供电子科技产业检测专业解决方案。
多年来,始终坚持“以精立业,以质取胜”的企业方针,潜心于仪器的研发、制造,不断改进产品质量及完善服务。
1.样品台专为晶圆设计,可适应6-12寸的晶圆,具备四向对中功能。
2.矩阵型多点测试,测试精准简单方便。自动定位-滴液-接液-自动测量-自动换位。
3.一次测试点位多达50+个,可在原图上直接显示数据并保存。
4.测试结果可直接保存在阵列图上。
5.批量方案设置功能,可保存多个测量方案,一次保存,终身无需再设定。可随时调取。
货期:现货
品牌:北斗仪器
型号:CA720
产地:广东东莞
名称:全自动晶圆专用接触角测量仪
接触角(Contact angle)是指在气、液、固三相交点处c作的气-液界面的切线,此切线在液体一方的与固-液交界线之间的夹角θ,是润湿程度的量度。是现今表面性能检测的主要方法。晶圆水滴角测量仪 测试半导体表面亲疏水性,采用光学成像的原理-图像轮廓分析方式测量样品表面的接触角、润湿性能、表界面张力、前进后退角、表面能等。主要由光源、注射单元、样品台、采集系统、分析软件等组成。晶圆水滴角测量仪 测试半导体表面亲疏水性, 采用全自动进液装置,性价比高、拓展性强、功能全面、可满足各种常规测量需求,目前已经广泛使用在众多高校院所及企业。
专为晶圆深度定制的一台 晶圆接触角仪 ,广泛用于晶圆的润湿性能分析与研究,是一台快速测量晶圆多点位润湿性分析测量的设备。
设 备整体参数 | 型号 | CA720 |
名称 | 全自动晶圆专用接触角测量仪 | |
类型 | 晶圆型 | |
机身材质 | 航空铝 | |
输入电源 | 220V 50-60Hz | |
功率 | 10W | |
仪器尺寸 | 约890mm(W)*400mm(L)* 580mm(H) | |
仪器重量 | 约30KG | |
样品平台系统 | 平台尺寸 | 直径320mm |
前后Y移动 | 自动:行程160mm,精度0.1mm | |
测试速度 | 0.1-50mm/s | |
上下Z移动 | 手动:行程30mm,精度0.1mm | |
水平调整 | 整机水平调整,摄像头水平调整(配送专业级XY水平仪) | |
可放置样品 | 6-12寸 | |
样品台材质 | 铝合金带四向对中技术 | |
注射 系 统 | 注液移动行程 | Y行程:40mm Z行程(自动):35mm,精度0.1mm(针头对中及液滴自动转移) |
滴样控制移动 | 行程:60mm,精度:0.01mm | |
滴样方式 | 自动 | |
滴样速度 | 0.01-25ul/s | |
滴液精度 | 0.01ul | |
加液方式 | 自动(配送5ml玻璃烧杯加液) | |
微量进样器 | 容量:500ul(全自动液位实时检测) | |
针头 | 标配0.5mm不锈钢针头(可替换)10个、超疏水针头0.25mm(可替换)10个 | |
采集 系 统 | 相机 | 日本SONY原装高速工业级芯片(Onsemi行曝光) |
镜头 | 0.7x-4.5x | |
传感器类型 | 1/1.8 英寸逐行扫描CMOS | |
分辨率 | 1280×1024 | |
焦距 | ±2.5mm可调 | |
图像拍摄方法 | 单张、间隔、连续 | |
拍摄间隔时间 | 500-3600000ms | |
视频录制方式 | 录像、回播、合成 | |
清晰度测量 | 全自动软件对焦 | |
最大拍摄速度 | 80帧/s | |
光 源 系 统 | 光源 | 美国进口工业级白色冷光源(有效避免因光源散发热量蒸发液滴) |
组合方式 | 采用日本进口石英扩散膜使得亮度更均匀,液滴轮廓更清晰 | |
使用寿命 | 5万小时以上 | |
亮度调节 | PWM无极调节+软件调节 | |
亮度识别 | 通过北斗算法自动识别亮度保证优良亮度 | |
光源波长 | 400~760nm | |
接触角测量 | 功率 | 1W |
接触角测量方法 | 悬滴法、座滴法等 | |
测量软件 | CA V2.0静/动态接触角测量软件+表面能测量软件 | |
软件操作系统要求 | windows 10(64位) | |
接触角测量方式 | 自动与手动 | |
接触角计算方法(static contact angle) | 自动拟合法(ms级别一键全自动拟合,不存在人工误差)、三点拟合、五点拟合、自动测量(包括圆拟合法/斜圆拟合法(Circle method/ Oblique Circle)、椭圆拟合法/斜椭圆拟合法(Ellipse method /Oblique Ellipse)、B-Snake拟合法、凹凸面测量等 | |
动态接触角测量 (Dynamic contact angle) | 前进角(Advancing angle),后退角(receding angle),滞后角(hysteresis angle) (可批量拟合多张图片或视频连续拟合计算Video analysis) | |
基线拟合 | 自动与手动 | |
角度范围 | 0°<θ<180° | |
精度 | 0.1° | |
分辨率 | 0.001° | |
表 面 能 | 表面能测量方法 | Fowks法,OWRK法,Zisman法,EOS法,Acid-Base Theory法,Wu harmonic mean法,Extended Fowkes法(软件中预装37种液体数据库,可自行建立液体性能参数)数据可直接调入用于表面能估算,液体库数据可自行添加、删除和修改。可分别得到固体表面能、色散力、极性力、氢键力、范德华分量、路易斯酸分量、路易斯碱分量等 |
表面能单位 | mJ/m² | |
表界面张力 | 测量方法 | 自动拟合+手动拟合 |
精度 | 0.01 mN/m | |
测量范围 | 0.1mN/m-2000mN/m | |
润湿性分析 | 粘附功 | 一键自动分析 |
铺展系数 | 一键自动分析 | |
粘附张力 | 一键自动分析 | |
精度 | 0.001 mN/m | |
单位 | mN/m |
众所皆知,软件是一台仪器的灵魂所在,组成系统的硬件虽为测量提供了基础,但只有在软件的支持下,才能实现硬件的功能,充分发挥其潜力,使系统的总体功能和性能如虎添翼。
本公司研发定制的CA V1.2.1静/动态接触角测量软件+表面能测量软件专用测控软件自2010年开始就面向客户提供使用,经过11年来各行业客户的使用反馈、使用要求、国家标准和国外标准的融合,已经达到一个很成熟稳定的状态。
拥有自主知识产权的软件控制系统(行业内极少),在对以后软件升级,新标准更换的时候起到一个很大的优势。
测试报告
精细机械:系统的框架选用高质量的进口高强度氧化保护铝型材并烤漆处理,所有的其它主要组件也都是由铝合金,不锈钢和铜合金通过精密制作而成。
精密定位:系统所有的线性移动单元,包括三维样品台(xy-轴),(Z-轴)注射器/针头的移动调节,均是由直线铜齿条和精密燕尾槽驱动,确保传动平稳、轻松和精细。
自动控制:作为标准配置CA-200配备了专业级软件控制的精密自动液体分配系统AD(Automatic Dispensing)。采用精密线性直线导轨滴液,控制精度可达0.1ul,确保测量的准确性和重复性,普赛特人改变传统导液管进液的方式,采用推杆直顶式结构,更方便进样器的清洗及更换,同时避免了传统导液管进样排空气难且需专业人士操作的难题。它既可装载高精度气密玻璃微量注射器(如用于需精密/精细体积控制的测量)又可配置一次性塑料注射器(如用于难清洗的液体样品测量);当液体用完后,可直接通过配送的5ml烧杯进行自动加液。
配置齐全的进样器与针头选择:提供数十种不同规格的进样器供使用者选择,如不同规格(25ul/50ul/100ul/250ul/500ul/1000ul….),不同材质(气密玻璃进样器/塑料进样器),不同品牌(Hamilton/boli….)以满足不同客户需求。提供各种规格(10-34#)以及不同材质(不锈钢/聚四氟乙烯/pp挠性针头)以及特殊针头(弯曲针头),可用于常规接触角测量,也可用于超疏水、超亲水、高粘度等特殊液体的进样、液滴转移等。
成像系统:作为标准配置CA-200采用了行曝光(Rolling Shutter)高分辨率CMOS图像传感器配合pomeas0.7-4.5远心轮廓镜头。保证优良的成像效果。同时亮度连续数字可调的高强度背光冷光源为成像提供了均匀的背景照明。
软件平台:软件是整个测量系统的灵魂和大脑 。 CAPST V1.2.1软件 为用户提供了范围广泛的功能和特性 。作为一光学方法,测量的精度取决于成像的质量和后着的处理、分析和计算方法 。 其中采用的亚像素( sub-pixel)液滴坐标检测 ,自动液 /固 /流 -三相接触线识别 , 液滴全轮廓分析 ,和基于连续信息反馈的液滴监视功能等构成了软件的核心组件,而且这一切又都能实时完成。
1.usb2.0数字CCD摄像头 1个 | 2.连续变倍光学系统 1个 |
3.手动加样系统 1套 | 4.手动CCD倾斜系统 1套 |
5.表界面分析测量系统应用软件 1套 | 6.说明书纸质一份及说明书电子版 1份 |
7.保修卡及合格证1份 | 8.亲水进样针10个,疏水进样针10个 |
9.500ul进样器1个 | 10.电源线及数据线1条 |
11.XY专用水平仪1个 | 11.晶圆自动旋转系统 1套 |
物料名称 | 数量 | 规格描述 |
主机框架 | 1 | 高强度进口欧标航空铝合金结构搭配模块化设计 |
相机 | 1 | USB2.0接口, SONY 1/1.8" MT9M001 Rolling shutter CMOS,分辨率H1280×V1024,帧率80fps |
镜头 | 1 | 对焦距离90mm |
光源 | 1 | 日本CCS工业级深度定制单波长LED轮廓冷光源,120个密集光源点,配合美国进口柔光板与均光板,亮度连续可调,12V安全电压 |
支撑脚 | 1 | 铝合金+减震胶垫结构,配合减震系统,可调节机台水平与防震效果 |
俯仰调整滑台 | 1 | 螺杆控制,调整范围±1° |
滴液驱动模块 | 1 | 电机驱动,超细牙丝杆转动,移动行程60mm, 导程1mm,重复定位精度±0.01μl |
滴液升降模块 | 1 | 旋钮驱动,丝杆转动,重复定位精度±1mm |
样品台升降滑台 | 1 | 齿轮齿条控制,移动行程30mm,分辨率0.1mm |
样品台平移滑台 | 1 | 齿轮齿条控制,移动行程X30×Y50mm,分辨率0.1mm |
固定件和连接件 | 1 | AL6061铝合金数控加工而成,表面烤漆处理 |
控制器 | 1 | 微机控制系统,发送指令控制滴液系统 |
电气控制单元 | 1 | 集成了包括电路、电位器、开关、电源等 |
测量软件 | 1 | 包括接触角测量、表面张力测量、表面能估算和润湿性分析 |
微量进样器 | 1 | 500uL,分辨率0.001ul |
耗材 | 1 | 亲水进样针,疏水进样针,500ul进样器 |
电脑(选配) | 1 | 如下配置 |
物料名称 | 品牌 | 物料名称 | 品牌 |
CPU | 英特尔i3处理器 | 鼠标键盘 | 力拓 |
主板 | 英特尔H61主板 | 机箱 | 金和田 |
内存 | 华硕8G DDR3 1600 | 电源 | 长城 |
硬盘 | 七彩虹 250G | 显示器 | HUYINIUDA 19寸 |
表界面张力测量精度 | 0.01 mN/mmN/m |
表面张力测量范围 | 0.1mN/m-2000mN/mmNm |
测量精度 | 0.1°° |
产地类别 | 国产 |
固定样品台大小 | 6-12寸晶圆mm |
价格区间 | 5万-10万 |
接触角测量范围 | 0°<θ<180°° |
仪器类型 | 实验室台式 |
仪器种类 | 视频光学接触角测定仪 |
应用领域 | 电子,综合 |