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FPKOR-HEX-PVD 台式薄膜沉积系统PVD系统
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生产厂家上海富瞻环保科技有限公司坐落于上海这座大都市东方明珠腹地,主要从事环保类仪器、卫生防疫检验检疫仪器设备的研发、创新、生产、定制服务,可以满足客户科研、劳保、防疫、卫生环境、水文、地理、应急、环保等多方面检测的需要,做好售后。
电子鼻技术,连续自动恶臭监测系统和便携式(手提式)恶臭检测仪,先后开发了异味、电子鼻、恶臭检测仪、空气污染物检测站等系列产品。
公司热忱期待和八方来客洽谈合作大计!富瞻专注于仪器研发、创新、非标化个性化特殊定制。涉及到的部分产品如下:
我们和国内外品牌都有合作,竭诚为您服务!
实验室仪器
食品分析
耗材试剂
水质检测
气体检测
传感器
气象检测
过程仪表
辐射放射
哈希、梅特勒、梅思安、华瑞、安东帕、PE、赛默飞、马尔文、艾卡、美墨尔特...........
恶臭气体分析仪
熏蒸气体检测仪
消毒杀菌气体检测仪
室内气体检测仪
酸雾检测仪
机动车尾气分析仪
天然气/煤气/沼气垃圾气分析仪
煤气/天然气热值仪
餐饮油烟检测仪
公共安全卫士环境应急检测仪
环境大气污染物检测仪
移动式大气环境污染物分析仪
非甲烷总烃检测仪
TVOC/VOC/VOCs检测仪
恶臭微型站
恶臭在线分析系统
在线油烟监测仪
垃圾臭味监测系统
有毒有害气体变送器
在线尾气废气烟气气体监测仪
工业流程气分析仪
非甲烷总烃检测仪
TVOC/VOC/VOCs检测仪
在线多气体分析仪
微型空气质量监测站
毒剂在线检测仪
公共安全卫生环境监控系统
酸雾监控系统
环境卫生监控设备
室内空气苯系物检测仪
大气氯苯污染分析仪
环境大气有机苯测试仪
PID检测仪
苯乙烯测试仪
三苯气体检测仪
异丙苯分析仪
VOC检测仪
非甲烷总烃分析仪
环境大气污染源监测仪
酚类气体探测仪
总酚探测器
醛类探测仪
大气复合污染检测仪
无组织排放源污染检测仪
工业有毒有害气体测试仪
工业窑炉锅炉烟气仪
机动车尾气废气分析
大气有机污染分析仪
车载环境大气粉尘仪分析仪
光化学污染测定仪
空气污染源监测仪
车载大气环境综合分析仪
非标定制污染气体检测仪系统
温室效应气体分析仪
工业安全应急检测仪
流动空气污染源追溯仪
面源污染检测仪
厂界污染测试仪
沼气分析仪
生物制气测试仪
环境恶臭检测仪
臭气浓度仪
熏蒸消毒气体检测仪
熏蒸气体残留测试仪
网格化大气环境检测仪
小型大气监测站
流动式环境大气污染分析仪
台式薄膜沉积系统PVD系统
台式薄膜沉积系统为是模块化的PVD系统,为您的研究和实施应用提供了多种沉积选项。可装配电子束蒸发源E-beam,ORCA低温蒸发源,热蒸发源,磁控溅射等。
台式薄膜沉积系统为是模块化的PVD系统,为您的研究和实施应用提供了多种沉积选项。可装配电子束蒸发源E-beam,ORCA低温蒸发源,热蒸发源,磁控溅射等。
台式薄膜沉积系统是研究和开发的理想选择,因为它具有模块化的特性。所有基本元件都可以访问,允许对各种组件进行测试,并对几种薄膜沉积技术中涉及的工艺进行探索,包括:表面分析样品制备,溅射,热蒸发,有机物理气相沉积等
基本型号中支持的方法包括:金属和光刻胶剥离工艺,EM样品制备,新型涂料研发,磁控溅射沉积*化
用户可购买基本型号,在必要时升级到*高级别的组件,这些升级是模块化的,安装简单,减少了系统停机时间和安装成本。
台式薄膜沉积系统配有一个80升/秒的泵,可实现高达8×10^-7毫巴的基本真空,并可实现高至100毫米的样品尺寸。该系统还配有一个多样品支架,可同时容纳几个较小的样品。
台式薄膜沉积系统可升级300升/秒的泵,可实现4×10^-7毫巴的基本真空。用户也可以选择一个较大的HEX-L室,其空间可容纳多达150毫米的样本,或多个较小的样本。
台式薄膜沉积系统由一个六面铝框架高真空室组成,该室重量轻,但足够坚固,适用于大多数物理气相沉积应用。
六边形结构支撑六块模块化面板,包括:空白面板,“视口"面板,沉积源面板,PLD仪表过程控制面板,包括质量流量控制器和厚度控制,用于现场监测的QCM面板该设计使用标准化配件,包括用于气体和水连接的Hamlet快速接头,以及用于样品台和部件附件的蝶形螺母。这种标准化使切换面板和根据特定应用调整系统变得简单。模块化设计还使维护和重新配置*快、*高效。