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FPKOR-HEX-PVD 台式薄膜沉积系统PVD系统

型号
FPKOR-HEX-PVD
上海富瞻环保科技有限公司

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生产厂家

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上海富瞻环保科技有限公司坐落于上海这座大都市东方明珠腹地,主要从事环保类仪器、卫生防疫检验检疫仪器设备的研发、创新、生产、定制服务,可以满足客户科研、劳保、防疫、卫生环境、水文、地理、应急、环保等多方面检测的需要,做好售后。

电子鼻技术,连续自动恶臭监测系统和便携式(手提式)恶臭检测仪,先后开发了异味、电子鼻、恶臭检测仪、空气污染物检测站等系列产品。

公司热忱期待和八方来客洽谈合作大计!富瞻专注于仪器研发、创新、非标化个性化特殊定制。涉及到的部分产品如下:


我们和国内外品牌都有合作,竭诚为您服务!

实验室仪器

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哈希、梅特勒、梅思安、华瑞、安东帕、PE、赛默飞、马尔文、艾卡、美墨尔特...........

恶臭气体分析仪

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详细信息

台式薄膜沉积系统PVD系统


台式薄膜沉积系统为是模块化的PVD系统,为您的研究和实施应用提供了多种沉积选项。可装配电子束蒸发源E-beam,ORCA低温蒸发源,热蒸发源,磁控溅射等。

台式薄膜沉积系统为是模块化的PVD系统,为您的研究和实施应用提供了多种沉积选项。可装配电子束蒸发源E-beam,ORCA低温蒸发源,热蒸发源,磁控溅射等。
台式薄膜沉积系统是研究和开发的理想选择,因为它具有模块化的特性。所有基本元件都可以访问,允许对各种组件进行测试,并对几种薄膜沉积技术中涉及的工艺进行探索,包括:表面分析样品制备,溅射,热蒸发,有机物理气相沉积等
基本型号中支持的方法包括:金属和光刻胶剥离工艺,EM样品制备,新型涂料研发,磁控溅射沉积*化
用户可购买基本型号,在必要时升级到*高级别的组件,这些升级是模块化的,安装简单,减少了系统停机时间和安装成本。

台式薄膜沉积系统PVD系统

台式薄膜沉积系统配有一个80升/秒的泵,可实现高达8×10^-7毫巴的基本真空,并可实现高至100毫米的样品尺寸。该系统还配有一个多样品支架,可同时容纳几个较小的样品。
台式薄膜沉积系统可升级300升/秒的泵,可实现4×10^-7毫巴的基本真空。用户也可以选择一个较大的HEX-L室,其空间可容纳多达150毫米的样本,或多个较小的样本。
台式薄膜沉积系统由一个六面铝框架高真空室组成,该室重量轻,但足够坚固,适用于大多数物理气相沉积应用。

六边形结构支撑六块模块化面板,包括:空白面板,“视口"面板,沉积源面板,PLD仪表过程控制面板,包括质量流量控制器和厚度控制,用于现场监测的QCM面板该设计使用标准化配件,包括用于气体和水连接的Hamlet快速接头,以及用于样品台和部件附件的蝶形螺母。这种标准化使切换面板和根据特定应用调整系统变得简单。模块化设计还使维护和重新配置*快、*高效。


台式薄膜沉积系统PVD系统


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