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HOT N2 SYSTEM。 八光产业 并改善热氮气排气管堵塞HOT-N2

型号
HOT N2 SYSTEM。
参数
应用领域:环保,化工,生物产业,农业,综合 订货号:199**2649**6030王工
爱安德商贸(深圳)有限公司

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以快速响应国际上对创新和高精度测量工具的需求,与此同时建立了良好的市场声誉。我们的宗旨是实现最高的客户满意度。






详细信息

八光产业 并改善热氮气排气管堵塞HOT-N2

八光产业 并改善热氮气排气管堵塞HOT-N2



关于 HOT-N2 系统

HOT-N2 系统
HOT-N2 系统用于产生粉末和气体副产品的半导体制造工艺,并改善排气管堵塞。

【特征】
  • 防止粉末和副产品的形成和积累:
    抑制管道中氧化物的形成。

  • 由于减少了维护,提高了设备生产率:
    预计会降低维护成本。

  • 能够进行大容量氮气吹扫:
    防止爆炸危险。


八光产业 并改善热氮气排气管堵塞HOT-N2

使用案例和功能

点击图片放大
连接到干泵的输出侧和洗涤器的入口侧(排除装置)。

【功能】
  • 稀释:
    稀释气体。

  • 转移:
    通过将热氮气注入管道中并使副产物高速流动,转移副产物并防止副产物在管道内积聚。

  • 热能活化:

    通过注入热氮气加热副产品。

HOT N2 系统主要适用工艺

HOT N2 SYSTEM 使用例
  • 蚀刻

  • 化学气相沉积

  • 物理气相沉积   

  • 濃散等


*在某些低温工艺中没有必要使用HOT N2 SYSTEM。

使用 HOT N2 的效果

八光产业 并改善热氮气排气管堵塞HOT-N2HOT N2 未使用 
HOT N2 使用

八光产业 并改善热氮气排气管堵塞HOT-N2八光产业 并改善热氮气排气管堵塞HOT-N2

"

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