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SJ6000 激光切割机精度激光干涉校准仪

型号
SJ6000
参数
产地类别:国产 价格区间:面议 应用领域:能源,电子,电气,综合
深圳市中图仪器股份有限公司

高级会员4年 

生产厂家

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深圳市中图仪器股份有限公司成立于2005年,致力于全尺寸链精密测量仪器及设备的研发、生产和销售。


中图仪器坚持以技术创新为发展基础,拥有一支集光、机、电、信息技术于一体的技术团队,历经20年的技术积累和发展实践,研发出了基础计量仪器、常规尺寸光学测量仪器、微观尺寸光学测量仪器、大尺寸光学测量仪器、常规尺寸接触式测量仪器、微观尺寸接触式测量仪器、行业应用检测设备等全尺寸链精密仪器及设备,能为客户提供从纳米到百米的精密测量解决方案。





详细信息

SJ6000激光切割机精度激光干涉校准仪采用进口高稳频氦氖激光器、双纵模热稳频技术、多参数环境补偿技术、高速数字信号处理系统等技术,通过与不同的光学镜组结合,实现对线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测。线性测长精度0.5ppm,激光稳频精度:0.05ppm。

激光切割机精度激光干涉校准仪

激光切割机精度校准


SJ6000激光切割机精度激光干涉校准仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点,结合不同的光学镜组,可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下,可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测,以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析,如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。


产品配置

SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件,可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列,依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。

激光切割机精度激光干涉校准仪

主要镜组图

其中,线性镜组为标配,由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析,以及反向间隙修正和螺距补偿。


动态测量概述

SJ6000动态测量软件搭配线性镜组、角度镜组或直线度镜组可以进行相应的线性、角度或直线度的动态测量与性能检测。

动态测量包括基于时间的动态测量和基于距离的动态测量,SJ6000动态测量软件可对动态测量数据进行位移分析、速度分析、加速度分析、振幅与频率分析等。

激光切割机精度激光干涉校准仪

位移-时间曲线

激光切割机精度激光干涉校准仪

速度-时间曲线

激光切割机精度激光干涉校准仪

加速度-时间曲线

激光切割机精度激光干涉校准仪

振幅-频率曲线


动态测量应用

1、基于时间的动态测量

机器运动控制性能评价:

(1)运动控制器PID控制参数测试与设置

(2)动后机器的稳定性测试与评价

(3)能运动控制器的微小步幅的测试

振动监视

(1)扫描应用:用于定位精度不重要,但恒速对实现高质量成像非常关键的场合

(2)机床应用:典型应用包括要求刀具慢速、平稳轮廓运动的高质量表面精加工

振动频率分析

(1)被测对象的振动频率分析

(2)FFT快速傅立叶变换分析

2、基于距离的动态测量

基于距离的动态测量,SJ6000激光干涉仪系统将沿着轴线“飞行"测量,即运动轴在不停顿的情况下以用户定的间隔进行数据采集。

3、提供脉冲触发方式采集

CT70正交触发盒可监控光栅、编码器、控制器等信号,配合SJ6000激光干涉仪,可实现脉冲触发启动采集和连续脉冲触发采集。适用于运动轴在不停顿的情况下,触发激光干涉仪按照定的间隔位置进行数据采集。


产品功能

(1)可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量;

(2)可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等,以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等;

(3)可实现对机床回转轴的测量与校准;

(4)可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表,为设备误差修正提供依据;

(5)具有动态测量与分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等,可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等;

(6)支持手动或自动进行环境补偿。

激光切割机精度激光干涉校准仪


部分技术规格

稳频精度0.05ppm
动态采集频率50 kHz
预热时间≤ 6分钟
工作温度范围(0~40)℃
存储温度范围(-20~70)℃
环境湿度(0~95)%RH
线性测量距离(0~80)m (无需远距离线性附件)
线性测量精度0.5ppm (0~40)℃
角度轴向量程(0~15)m
角度测量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″
平面度轴向量程(0~15)m
平面度测量精度±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值,单位:μm;M为测量距离,单位:m)
直线度轴向量程短距离(0.1~4.0)m;长距离(1.0~20.0)m
直线度测量精度短距离±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm长距离±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm
垂直度轴向量程短距离(0.1~3.0)m;长距离(1.0~15.0)m
垂直度测量精度短距离±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m;长距离±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m
注意事项:

平面度测量配置需求:平面度镜组+角度镜组

平行度测量配置需求:依据轴向量程范围,选择相应直线度镜组即可

短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求:短直线度镜组+垂直度镜组

长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求:长直线度镜组+垂直度镜组

直线度附件:主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量

恳请注意:因市场发展和产品开发的需要,本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改,恕不另行通知,不便之处敬请谅解。

如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。

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产品参数

产地类别 国产
价格区间 面议
应用领域 能源,电子,电气,综合
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