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MIPC1000 多功能等离子清洗仪
- 型号
- MIPC1000
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上海迈科英诺科学仪器有限公司（MicroInno）作为荷兰Semplor公司分析型台式扫描电镜中国区总代理，全面负责该公司产品在中国（包括香港及澳门地区）的销售及售后服务，同时致力于国产电镜相关设备开发，目前形成了以等离子清洗、离子束等电镜制样设备、透射电镜原位分析及样品转移样品杆和扫描电镜原位冷冻及样品转移系统三条产品线，同时也提供以上三条产品线的定制开发服务，一站式解决国内广大科研工作者特殊实验方案需求，更好支撑用户实际科学研究。
公司总部位于上海，在上海、北京、沈阳、武汉、成都、深圳、西安、苏州以及太原设有办事处，负责以上品牌产品在中国区域（含香港、澳门）地区的销售及售后服务，公司定位深耕电镜及相关行业，希望通过专业的售前售后服务，满足全国用户的需求。
详细信息
MIPC1000多功能等离子清洗仪，专门针对SEM/TEM等各类表面/微观分析设备开发，能够有效去除样品/样品杆表面污染物，防止碳沉积带来图像分辨率降低及对样品微区成分分析造成误判，同时可改善样品表面亲水性。该系统配备7英寸超大清洗样品杆，同时清洗多个样品，利用快旋头设计，可满足SEM/FIB/EPMA/SIMS/XPS/TEM等各类真空腔体清洗，提升仪器分析准确性。
MIPC1000多功能等离子清洗仪最多可配备四路气体进气系统，搭配高精度质量流量计（MFC），可实现任意比例气体混合，从而实现不同工艺气体清洗需求。通过配备的7英寸触屏控制系统，能够实现清洗配方的建立和存储，可实现一键完成样品清洗。 Downstream过滤电场能够过滤传统等离子体中离子/电子成分，仅利用低能自由基进行清洗，能够去除溅射损伤、热效应及刻蚀效应对样品微观结构和成分的破坏。满足各类真空设备样品/样品舱清洗，同时可对电镜光阑、各类真空部件进行清洗，满足各种清洗需求。
技术优势
◆ 多功能：具备在线腔体清洗和独立清洗功能；
◆ 高效性：ICP诱导激发，清洗范围广；
◆ 超高真空清洗：＜5mTor ~ 2Tor ；
◆ 清洗功率范围大：0-100W ；
◆ 清洗柔和：Downstream设计，无溅射效应， 无热效应；
◆ 可同时清洗/存储两根透射电镜样品杆；
◆ 扩展性好：采用快旋头，等离子发生器，可轻松对各类真空腔体进行清洗；
◆ 超大清洗样品舱：直径7英寸X7英寸高；
◆ 能够碳膜清洗，增加增加碳膜亲水性；
◆ 触屏控制：7英寸触屏，配方式操作。
主要应用
◆ FIB/SEM/TEM/Nano Probe
◆ XPS/GC/SIMS
◆ Synchrotron Radiation
◆ 各类真空腔体清洗
◆ 各类分析设备样品清洗
MCA实机图
碳膜清洗夹具
