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S48-32 气体质量流量控制器
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曦源科学仪器（上海）有限公司是一家专业的科学仪器供应商，主要从事高校、科研院所、生物医药等生命科学领域实验室产品的销售和技术服务。我公司致力于提供高品质的科学仪器、耗材，为客户提供整体解决方案，通过专业、细致以及全面的技术服务，实现“为客户提供更多价值”的承诺。公司成立以来一直与国内外厂商保持密切联系，不断引进各种优质的科学仪器产品。公司一直以“打造优质品牌、服务科学领域”的产品理念与社会宗旨，积极推动祖国科研事业发展。
详细信息
HORIBA S48系列气体质量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC），适用于多种气体控制场合，兼具高精度、快速响应和高稳定性，广泛应用于半导体制造、分析仪器、真空工艺、环境监测、光纤制造等领域。
气体质量流量控制器特点
安装灵活：支持任意角度安装，提升现场布局的自由度。
高精度控制：采用多段线性调整技术，控制精度更高，调节比更宽。
快速响应：T98响应时间小于1秒，满足快速过程控制需求。
自动零点调整：具备自动零点修正功能，有效补偿环境变化带来的偏差。
多气体兼容：可适用于N₂、O₂、Ar、He、H₂等多种气体。
丰富的流量范围：覆盖10 SCCM至50 SLM，满足从微量到大流量的不同应用。
技术规格
应用领域
分析仪器：用于气相色谱、光谱仪、质谱仪等气体控制部分。
实验室研究：气体混合、等离子体实验、化学反应气体流量控制。
半导体与真空工艺：PVD、CVD、刻蚀、扩散等工艺中的精密气体输送。
太阳能电池制造：气体沉积、气氛控制。
光纤制造：MCVD/VAD/OVD等工艺中对反应气的精确控制。
环境监测：VOCs检测、PM2.5分析、动态稀释系统。
炉窑控制：气体配比、燃烧控制等工业过程。
